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캐리어 기판을 제공하는 단계;상기 캐리어 기판의 상부 표면 상에 산화 그래핀층, 다수의 전이금속 산화물 나노입자들을 구비하는 전이금속 산화물층, 및 고분자층을 형성하는 단계;상기 고분자층 상에 소자층을 형성하는 단계; 및상기 소자층이 형성된 고분자층을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 단계를 포함하는 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 소자층이 형성된 고분자층을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 단계는,상기 캐리어 기판의 하부면 상에 자외선을 조사하는 것을 포함하는 플렉서블 장치 제조방법
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제2항에 있어서,상기 자외선을 조사하는 것은 자외선-발광다이오드를 사용하여 수행하는 플렉서블 장치 제조방법
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제2항에 있어서,상기 조사된 자외선에 의해 상기 전이금속 산화물 나노입자들은 광여기되어 전자와 홀을 생성하고,생성된 전자와 홀은 상기 산화 그래핀층 및/또는 상기 고분자층을 분해하여 이산화탄소 또는 수증기 가스를 생성시키는 플렉서블 장치 제조방법
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제4항에 있어서,상기 전자는 상기 산화 그래핀층으로 전이되어, 상기 전자와 상기 홀은 분리되는 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 전이금속 산화물층과 상기 고분자층을 형성하는 단계는,상기 전이금속 산화물 전구체층을 형성하는 단계;상기 전이금속 산화물 전구체층 상에 고분자 전구체층을 형성하는 단계; 및상기 전이금속 산화물 전구체층과 상기 고분자 전구체층을 동시에 열처리하여 상기 전이금속 산화물 전구체층을 상기 전이금속 산화물층으로 변화시키면서 상기 고분자 전구체층을 상기 고분자층으로 변화시키는 단계를 포함하는 플렉서블 장치 제조방법
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제6항에 있어서,상기 전이금속 산화물 전구체층은 전이금속 카복실산염을 함유하는 플렉서블 장치 제조방법
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제6항에 있어서,상기 고분자 전구체층은 폴리아믹산을 함유하는 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 산화 그래핀층은 다수 개의 산화 그래핀 시트들을 구비하고,상기 산화 그래핀 시트들 사이에 상기 캐리어 기판 표면이 노출되는 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 전이금속 산화물층은 TiO2, ZnO, ZrO2, WO3, 페로브스카이트 결정형 복합 금속산화물을 함유하는 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 고분자층은 PET (polyethylene terephthalate), PEN (polyethylene naphthalate), PC (polycarbonate), PES (polyethersulphone), PI (polyimide), PAR (polyarylate), 또는 PCO (polycylic olefin)를 함유하는 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 캐리어 기판은 유리 기판인 플렉서블 장치 제조방법
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캐리어 기판의 상부 표면 상에 산화 그래핀층과 전이금속 산화물 전구체층을 형성하는 단계;상기 전이금속 산화물 전구체층 상에 고분자 전구체층을 형성하는 단계;상기 전이금속 산화물 전구체층과 상기 고분자 전구체층을 동시에 열처리하여 상기 전이금속 산화물 전구체층을 전이금속 산화물층으로 변화시키면서 상기 고분자 전구체층을 고분자층으로 변화시키는 단계;상기 고분자층 상에 소자층을 형성하는 단계; 상기 캐리어 기판의 하부면 상에 자외선을 조사하여 상기 전이금속 산화물을 광여기시키는 단계; 및상기 소자층이 형성된 고분자층을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 단계를 포함하는 플렉서블 장치 제조방법
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제13항에 있어서,상기 캐리어 기판의 상부 표면 상에 상기 산화 그래핀층을 형성한 후, 상기 산화 그래핀층 상에 상기 전이금속 산화물 전구체층을 형성하는 플렉서블 장치 제조방법
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제13항에 있어서,상기 캐리어 기판의 상부 표면 상에 상기 전이금속 산화물 전구체층을 형성한 후, 상기 전이금속 산화물 전구체층 상에 상기 산화 그래핀층을 형성하고,상기 산화 그래핀층이 형성된 상기 전이금속 산화물 전구체층 상에 상기 고분자 전구체층을 형성하는 플렉서블 장치 제조방법
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제14항 또는 제15항에 있어서,상기 산화 그래핀층은 그래핀 산화물 분산액을 도포한 후 건조하는 단계를 복수회 반복하여 형성하는 플렉서블 장치 제조방법
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제14항 또는 제15항에 있어서,상기 전이금속 산화물 전구체층은 전이금속 산화물 전구체 용액을 도포한 후 건조하는 단계를 복수회 반복하여 형성하는 플렉서블 장치 제조방법
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제13항에 있어서,상기 캐리어 기판의 상부 표면 상에 상기 산화 그래핀층과 상기 전이금속 산화물 전구체층을 교호적층하는 플렉서블 장치 제조방법
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제13항에 있어서,상기 전이금속 산화물은 ZnO인 플렉서블 장치 제조방법
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제13항에 있어서,상기 고분자 전구체층은 폴리아믹산을 함유하고, 상기 고분자층은 폴리이미드를 함유하는 플렉서블 장치 제조방법
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제13항에 있어서,상기 자외선은 근자외선인 플렉서블 장치 제조방법
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