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전자기 차폐부를 구비한 글러브박스로:상기 글러브박스는 전면에 장갑 및 투명창을 구비하고 밀폐된 글러브 박스 형태의 본체;상기 본체 내부에 위치하는 계측 장비 거치대; 및,상기 투명창을 덮는 개폐식 전자기 차폐부를 구비하고,상기 본체의 재질은 전자기 차폐가 가능한 전기 전도성 물질인,전자기 차폐부를 구비한 글러브박스
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제 1항에 있어서, 상기 전자기 차폐부는,상기 본체의 양측에 로드의 일 말단이 고정되고 상기 로드의 타말단은 상기 전자기 차폐부의 양측면 중앙에 각각 고정되며, 상기 전자기 차폐부의 로드 고정부를 축으로 회전하면서 개방 또는 폐쇄되는, 전자기 차폐부를 구비한 글러브박스
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제 1항에 있어서, 상기 전자기 차폐부는, 상단이 상기 본체 전면 투명창 상부에 고정되어 상하 여닫이 형태로 개방 또는 폐쇄되는, 전자기 차폐부를 구비한 글러브박스
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제 1항에 있어서, 상기 전자기 차폐부는, 상기 본체의 양측에 리프트업 힌지의 일 말단이 고정되고 상기 힌지의 타말단은 상기 전자기 차폐부의 양측면 중앙에 각각 고정되며, 상하 수직방향 또는 좌우 수평방향으로 개방 또는 폐쇄되는,전자기 차폐부를 구비한 글러브박스
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제 1항에 있어서, 상기 전자기 차폐부는, 상기 본체의 양측에 각각 고정되는 두 개의 문짝형태로 좌우로 각각 여닫이 형식으로 개방 또는 폐쇄되는,전자기 차폐부를 구비한 글러브박스
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제 1항에 있어서, 상기 전자기 차폐부는 알루미늄, 철, 또는 전도성 물체로 이루어진 강판 또는 전도성 물체에 뮤메탈 필름 또는 퍼멀로이가 부착된 판인,전자기 차폐부를 구비한 글러브박스
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제 1항에 있어서, 상기 전자기 차폐부는, 상기 본체의 투명창 전면을 가리는 전자기 차단용 섬유이고,상기 전자기 차단용 섬유는 슬라이드식, 블라인드식 및 탈착식을 포함하는 개폐방식으로 개폐되는, 전자기 차폐부를 구비한 글러브박스
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제 1항에 있어서, 상기 거치대에 거치되는 계측 장비는 샘플 접촉식 측정 장비로,상기 샘플 접촉식 측정 장비는 주사형 탐침 현미경(Scanning Probe Microscope), 프로브 스테이션(probe station) 또는 프로파일러(Profiler)인, 전자기 차폐부를 구비한 글러브박스
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전자기 차폐부를 구비한 글러브박스로:상기 글러브박스는 전면에 장갑 및 투명창을 구비하고 밀폐된 글러브 박스 형태의 본체; 및상기 본체 내부에 위치하는 계측 장비 거치대를 포함하고,상기 투명창은 전도성 물질을 포함하는 유리 또는 플라스틱이고,상기 전도성 물질은 투명 전도성 산화물 또는 알루미늄인,글러브박스
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제 1 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 본체는, 상기 글러브 박스 본체에 질소 또는 불활성기체를 공급하는 기체 공급부; 및 상기 글러브 박스 본체 내부의 기체를 외부로 강제 배기하는 배기부를 더 포함하는,전자기 차폐부를 구비한 글러브박스
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제 1 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 계측 장비 거치대는,진동을 흡수하는 방진부를 더 포함하는,전자기 차폐부를 구비한 글러브박스
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