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기판(110); 및다기능 다공성 박막 구조(131)를 가지며 상기 기판(110)의 양면 또는 일면상에 형성되는 다공성층(130-1,130-2);을 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 다공성 박막을 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼
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제 1 항에 있어서,상기 기판(110) 및 다공성층(130-1,130-2)사이에 형성되는 보호층(120-1,120-2);을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 다공성 박막을 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼
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제 1 항에 있어서,상기 다기능 다공성 박막 구조(131)는 광산란을 위한 기공들 또는 크레이터들이 내장되는 것을 특징으로 하는 다기능 다공성 박막을 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼
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제 3 항에 있어서,상기 기공들 또는 크레이터들의 크기는 가시광선중 상대적으로 단파장 산란에 더 적합하도록 입사면쪽에 형성될때가 후면쪽에 형성되는 될때보다 작은 것을 특징으로 하는 다기능 다공성 박막을 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼
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제 3 항에 있어서,상기 기공들 또는 크레이터들의 기공도는 수소 분위기하에서 플라즈마 또는 열처리에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 다기능 다공성 박막을 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼
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제 5 항에 있어서,상기 기공들 또는 크레이터들의 크기는 랜덤하게 분포되는 것을 특징으로 하는 다기능 다공성 박막을 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼
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제 5 항에 있어서,상기 수소 분위기는 5x10-6토르보다 낮은 진공 상태에서 형성되는 것을 특징으로 하는 다기능 다공성 박막을 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼
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제 1 항에 있어서,상기 다공성층(130-1,130-2)은 다층 구조인 것을 특징으로 하는 다기능 다공성 박막을 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼
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제 1 항에 있어서,상기 다공성층(130-1,130-2)에서 태양광 흡수에 의해 분리 및 생성된 전자 정공의 재결합을 방지하는 후면 전계 영역, 전면 전계 영역, 및 터널 접합층 중 적어도 하나가 형성되는 것을 특징으로 하는 다기능 다공성 박막을 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼
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제 9 항에 있어서,상기 후면 전계 또는 전면 전계 영역은 상기 다공성층(130-1,130-2)의 형성중 도핑 원소가 포함된 가스를 추가로 주입하여 동시에 생성되는 것을 특징으로 하는 다기능 다공성 박막을 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼
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제 1 항에 있어서,상기 다공성층(130-1,130-2)은 화학 기상 증착법 또는 물리 기상 증착법을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 다기능 다공성 박막을 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼
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(a) 기판(110)을 준비하는 단계; 및(b) 상기 기판(110)의 양면 또는 일면상에 다기능 다공성 박막 구조(131)를 가지도록 다공성층(130-1,130-2)을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 다공성 박막을 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 (a)단계 및 (b) 단계 사이에, 상기 기판(110)의 일면 또는 양면에 보호층(120-1,120-2)을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 다공성 박막을 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼의 제조 방법
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