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기판;상기 기판의 상면에 서로 다른 제1 전극 및 제2 전극이 형성된 안테나 패턴;상기 안테나 패턴 상부에 형성된 박막층; 및상기 박막층 상면에 회절 격자 구조로 형성되어, 상기 안테나 패턴의 역전압 영역의 빔을 순전압 영역으로 회전시키는 회절 격자 패턴를 포함하는 대구경 어레이형 테라헤르츠 광전도 안테나
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제1항에 있어서, 상기 제1 전극은, 제1 방향으로 확장된 제1 라인 패턴, 상기 제1 라인 패턴과 연결되고 상기 제1 방향과 교차된 제2 방향으로 확장된 복수의 제2 라인 패턴들, 및 상기 제1 라인 패턴과 연결되고 상기 제2 방향으로 확장되며 상기 복수의 제2라인 패턴들의 사이에 위치되고 상기 제2 라인 패턴들에 비해 긴 길이를 갖는 복수의 제3 라인 패턴들을 포함하며, 상기 제2 전극은, 상기 제1 방향으로 확장된 제4 라인 패턴, 상기 제4 라인 패턴과 연결되고 상기 제2 방향으로 확장된 복수의 제5 라인 패턴들, 및 상기 제4 라인 패턴과 연결되고 상기 제2 방향으로 확장되며 상기 복수의 제5 라인 패턴들의 사이에 위치되고 상기 제5 라인 패턴들에 비해 긴 길이를 갖는 복수의 제6 라인 패턴들을 포함하며, 상기 제1 전극과 마주하여 배치된 것을 특징으로 하는 대구경 어레이형 테라헤르츠 광전도 안테나
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제2항에 있어서, 상기 안테나 패턴은, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극이 하나의 단위 격자로 구성되고, 복수의 단위 격자들이 복수의 행들을 구성하며, 상기 복수의 행들 사이에 역전압 영역 또는 순전압 영역이 위치하는 것을 특징으로 하는 대구경 어레이형 테라헤르츠 광전도 안테나
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제1항에 있어서, 상기 안테나 패턴은, 상기 제1 전극 및 제2 전극이 소정 거리 이격하여 일정 주기로 교대로 형성되고, 상기 제1 전극 및 제2 전극 사이에 역전압 영역 또는 순전압 영역이 위치하는 것을 특징으로 하는 대구경 어레이형 테라헤르츠 광전도 안테나
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제1항에 있어서, 상기 박막층은 폴리머 또는 유전체로 형성된 것을 특징으로 하는 대구경 어레이형 테라헤르츠 광전도 안테나
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제1항에 있어서, 상기 박막층의 두께는 상기 회절 격자 패턴의 입사각 및 상기 안테나 패턴의 주기에 기초하여 결정되는 것을 특징으로 하는 대구경 어레이형 테라헤르츠 광전도 안테나
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제1항에 있어서, 상기 회절 격자 패턴은, 유전체로 형성된 것을 특징으로 하는 대구경 어레이형 테라헤르츠 광전도 안테나
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8
제1항에 있어서, 상기 회절 격자 패턴은, 상기 역전압 영역에 대응하는 위치의 박막층 상면에 형성되는 것을 특징으로 하는 대구경 어레이형 테라헤르츠 광전도 안테나
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9
제1항에 있어서, 상기 회절 격자 패턴의 입사각은, 상기 빔의 파장 및 격자 구조의 주기에 기초하여 결정되는 것을 특징으로 하는 대구경 어레이형 테라헤르츠 광전도 안테나
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