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광 도파로 소자;상기 광 도파로 소자 상의 전기 변색 소자를 포함하되,상기 광 도파로 소자는:클래드 층; 및상기 클래드 층 상에 제1 방향으로 연장되는 코어 층을 포함하고,상기 전기 변색 소자는:상기 코어 층 상의 하부 전극;상기 하부 전극과 마주하여 배치되는 상부 전극;상기 하부 전극과 상기 상부 전극 사이의 전해질 층; 및상기 하부 전극과 상기 전해질 층 사이의 전기 변색 층을 포함하는 광 변조기
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제1항에 있어서,상기 광 도파로 소자는 상기 제1 방향에 대해 입력 영역, 변조 영역 및 출력 영역을 포함하고,상기 변조 영역은 상기 입력 영역 및 출력 영역 사이에 배치되는 광 변조기
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제2항에 있어서,상기 전기 변색 소자는 상기 변조 영역 상에 배치되는 광 변조기
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제1항에 있어서,상기 클래드 층은 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx), 폴리메틸메타크릴레이트(Polymethylmethacrylate: PMMA), 폴리에틸렌(Polyethylene: PE), 폴리프로필렌(Polypropylene: PP), 폴리스티렌(Polystyrene: PS), 폴리카보네이트(Polycarbonate: PC), 시클로올레핀 공중합체(Cycloolefin copolymer: COC) 또는 이들의 혼합물을 포함하는 광 변조기
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제1항에 있어서,상기 코어 층은 단결정 실리콘, 폴리메틸메타크릴레이트(Polymethylmethacrylate: PMMA), 폴리에틸렌(Polyethylene: PE), 폴리프로필렌(Polypropylene: PP), 폴리스티렌(Polystyrene: PS), 폴리카보네이트(Polycarbonate: PC), 시클로올레핀 공중합체(Cycloolefin copolymer: COC) 또는 이들의 혼합물을 포함하는 광 변조기
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제1항에 있어서,상기 코어 층의 굴절률은 클래드 층의 굴절률보다 큰 광 변조기
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제1항에 있어서,상기 코어 층에 접합되는 광 섬유를 더 포함하는 광 변조기
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제1항에 있어서,상기 광 변조기 상에 제2 방향으로 마주하며 이격되어 배치되는 패드 전극들을 더 포함하는 광 변조기
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제1항에 있어서,상기 상부 전극 및 하부 전극은 인듐 주석 산화물(Indium tin oxide: ITO), 플루오린 주석 산화물(Fluorine tin oxide: FTO), 안티몬 주석 산화물(Antimony tin oxide, ATO), 또는 이들의 혼합물을 포함하는 광 변조기
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제1항에 있어서,상기 전해질 층은 금속 염이 용매에 용해된 액체 전해질을 포함하는 광 변조기
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제10항에 있어서,상기 금속 염은 리튬퍼클로레이트(LiClO4), 리튬트리플레이트(LiCF3SO3), 리튬헥사플루오로포스페이트(LiPF6), 리튬비스트라이플루오로메탄설폰이미드(LiTFSI), 리튬테트라플루오로보레이트(LiBF4), 리튬트리플루오로메탄설포닐이미드(LiN(CF3SO2)2), 수산화리튬(LiOH), 수산화칼륨(KOH), 수산화나트륨(NaOH) 또는 이들의 혼합물을 포함하는 광 변조기
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제10항에 있어서,상기 용매는 폴리메틸메타크릴레이트(Polymethylmethacrylate: PMMA), 프로필렌카보네이트(Propylenecarbonate) 또는 에틸렌카보네이트(Ethylenecarbonate), 폴리비닐알콜(Polyvinyl alcohol: PVA), 폴리에틸렌(Polyethylene: PE), 폴리비닐아세탈(Polyvinyl acetal), 폴리아미드(Polyimide), 폴리에스테르(Polyester), 폴리에테르(Polyether), 폴리락틱애시드(Polylactic acid), 폴리프로필렌(Polypropylene: PP), 폴리스티렌(Polystyrene: PS) 또는 이들의 혼합물을 포함하는 광 변조기
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제1항에 있어서,상기 전기 변색 층은 텅스텐(W), 이리듐(Ir), 니켈(Ni), 코발트(Co), 망간(Mn), 니오브(Nb), 바나듐(V), 인듐(In), 세륨(Ce), 로듐(Rh), 또는 루테늄(Ru) 산화물을 포함하는 광 변조기
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제1항에 있어서,상기 하부 전극 및 상기 상부 전극의 두께는 150 내지 250 nm이고,상기 전기 변색 층의 두께는 200 내지 300 nm이고,상기 전해질 층의 두께는 80 내지 200 ㎛인 광 변조기
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