| 요약 |
본 발명은 AFM 이미지의 그림자 효과 제거를 위한 보정 시스템에 관한 것으로서, 추세선 생성부가 선택된 영역의 이미지로부터 추세선을 생성하는 (a) 단계; 판단부가 추세선 값과 기 설정된 기준값을 비교하는 (b) 단계; (b) 단계의 비교결과, 추세선 값이 기 설정된 기준값 이상인 경우, 기울기 보정을 수행하는 (c) 단계; 및 (b) 단계의 비교결과, 추세선 값이 기 설정된 기준값 미만인 경우, 기울기 보정부가 추세선과 현재값의 편차가 표준편차 이상의 차이가 발생하는 데이터를 제거하는 (d) 단계를 포함하되, (d) 단계 이후, 기울기 보정부가 총 데이터 개수 대비 제거된 데이터 개수가 0.5배 이상인지 여부를 판단하는 (e) 단계; 및 (e) 단계의 판단결과, 총 데이터 개수 대비 제거된 데이터 개수가 0.5배 이상인 경우, 기울기 보정부가 (c) 단계로 절차를 이행하는 (f) 단계를 포함한다. 상기와 같은 본 발명에 따르면, 선택된 영역의 이미지에서 한줄 데이터를 추출하여 추세선을 생성하고, 추세선 값과 기 설정된 기준값을 비교하여 기울기 보정을 수행함으로써, 균일한 분포를 갖는 이미지, 또는 높이 솟아 있거나 깊게 패인 부분을 포함하는 이미지의 그림자 효과를 제거할 수 있다.
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