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기판이 위치하는 내부 공간이 진공 상태인 챔버; 상기 기판에 인접하여, 인쇄 페이스트를 저장하는 저장부; 상기 인쇄 페이스트를 분사하는 노즐을 포함하는 디스펜서; 및상기 디스펜서의 이동과 함께 이동되는 거터를 포함하고, 상기 노즐은, 인쇄 위치까지 상기 거터로 상기 인쇄 페이스트를 분사하며 이동된 후, 상기 거터가 외부로 제거됨에 따라 상기 기판에 인쇄를 수행하는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 노즐은, 인쇄가 수행되지 않은 상태에서, 상기 저장부의 인쇄 페이스트에 담기는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치
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제2항에 있어서, 상기 저장부는, 상기 인쇄 페이스트가 저장되는 저장 용기; 상기 저장 용기의 상부에 위치하는 수납부; 및상기 저장 용기와 상기 수납부 사이를 밀폐하는 밀폐부를 포함하며, 상기 노즐은 상기 수납부 및 상기 밀폐부를 관통하여 상기 인쇄 페이스트의 내부로 위치하는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치
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제3항에 있어서, 상기 저장부는, 상기 챔버의 내부 공간을 진공 상태로 형성하는 경우, 상기 저장 용기 내부의 공기를 배출시키는 개폐부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 거터는, 저장 공간을 형성하여, 상기 노즐로부터 분사되는 인쇄 페이스트를 저장하는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 챔버의 내부 공간에 위치하여, 상기 인쇄 페이스트를 냉각시키는 냉각부를 더 포함하는 진공 프린팅 장치
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제6항에 있어서, 상기 냉각부는, 상기 디스펜서의 측면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 저장부와 상기 디스펜서 사이에 연결되어, 상기 저장부의 인쇄 페이스트를 상기 디스펜서로 제공하는 제공라인을 더 포함하는 진공 프린팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 기판 상에 위치하며, 상기 노즐이 삽입되며 세정되는 세정부를 더 포함하는 진공 프린팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 인쇄 페이스트는, 에틸렌 글리콜(ethylene glycol)을 용매로 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 장치
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노즐이 저장부로 인쇄 페이스트를 분사하도록 디스펜서를 위치시키는 단계; 상기 저장부를 개방하고, 챔버의 내부 공간을 진공 상태로 형성하는 단계; 거터에 상기 인쇄 페이스트를 분사하며 상기 디스펜서를 기판 상으로 이동시키는 단계; 및상기 거터를 제거하며, 상기 기판에 상기 인쇄 페이스트로 인쇄하는 단계를 포함하는 진공 프린팅 방법
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제11항에 있어서, 상기 진공 상태로 형성하는 단계에서, 상기 저장부의 개폐부를 개방하여, 저장 용기 내부의 공기를 배출시키는 것을 특징으로 하는 진공 프린팅 방법
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제11항에 있어서, 상기 기판 상에 위치하는 세정부로 상기 노즐을 삽입하여 세정하는 단계를 더 포함하는 진공 프린팅 방법
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