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실리콘전구체와 탄소전구체가 혼합된 용액을 준비하는 제1단계;상기 용액 내에 한 쌍의 금속와이어를 배치하는 제2단계; 및상기 한 쌍의 금속와이어에 바이폴라 펄스 직류 전원(bipolar pulsed direct current power)을 인가하여 플라즈마 방전을 통해 상기 용액으로부터 실리콘나노입자를 형성함과 동시에, 탄소매트릭스 내에 상기 실리콘나노입자가 분포된 실리콘-탄소 복합체를 형성하는 제3단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액상 플라즈마를 이용한 실리콘-탄소 복합체의 합성방법
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제1항에 있어서,상기 제1단계에서의 실리콘전구체는,실리콘 테트라클로라이드(silicon tetrachloride, SiCl4)인 것을 특징으로 하는 액상 플라즈마를 이용한 실리콘-탄소 복합체의 합성방법
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제1항에 있어서,상기 제1단계에서의 탄소전구체는,방향족 고리를 가지는 벤젠(benzene), 자일렌(xylene) 및 톨루엔(toluene) 중에서 선택되는 1종 이상의 유기용매인 것을 특징으로 하는 액상 플라즈마를 이용한 실리콘-탄소 복합체의 합성방법
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제1항에 있어서,상기 제3단계에서는,상기 용액으로부터 실리콘과 탄소가 동시에 합성되되,실리콘카바이드(SiC) 화합물이 합성되지 않는 것을 특징으로 하는 액상 플라즈마를 이용한 실리콘-탄소 복합체의 합성방법
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 합성방법에 의해 실리콘과 탄소가 동시에 합성되는 것을 특징으로 하는 액상 플라즈마를 이용한 실리콘-탄소 복합체의 합성방법으로부터 합성된 실리콘-탄소 복합체
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