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다결정 금속 촉매 박막을 비정상 결정립 성장법을 통해 단결정 금속 촉매 박막으로 변환하는 단계; 및화학기상증착에 의해 상기 단결정 금속 촉매 박막 상에 도핑된 그래핀을 합성하는 단계;를 포함하는 도핑 그래핀의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 다결정 금속 촉매 박막은 순도가 99
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제1항에 있어서,상기 다결정 금속 촉매 박막은 1층 이상의 층으로 구성되고,상기 층에는 니켈(Ni), 코발0트(Co), 철(Fe), 백금(Pt), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 구리(Cu), 마그네슘(Mg), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 로듐(Rh), 실리콘(Si), 탄탈럼(Ta), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 우라늄(U), 바나듐(V), 팔라듐(Pd), 이트리움(Y), 지르코늄(Zr) 또는 이들의 조합이 포함되는 것인 도핑 그래핀의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 다결정 금속 촉매 박막은 압연금속박을 포함하는 도핑 그래핀 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 변환 단계는 다결정 금속 촉매 박막을 600 ℃ 이상 내지 금속 촉매의 융점 이하의 온도에서 1 내지 50 Torr의 저진공 압력 조건과 환원성 기체 분위기 하에서 1 시간 이상 열처리하는 단계를 포함하는 도핑 그래핀의 제조 방법
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제5항에 있어서상기 환원성 기체는 수소인, 도핑 그래핀의 제조 방법
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제1항에 있어서,화학기상증착시 사용되는 탄소 전구체는 탄소 화합물과 질소 화합물 및 붕소 화합물 중 1종 이상; 또는함질소 탄소 화합물 및 함붕소 탄소 화합물 중 1종 이상;을 포함하는, 도핑 그래핀의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 탄소 전구체는 함질소 탄소 화합물을 포함하고,상기 함질소 탄소 화합물은 트리아진, 페나진, 피페라진, 피라진, 피리딘, 피리미딘, 피리다진 또는 이들의 조합을 포함하는, 도핑 그래핀의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 다결정 금속 촉매 박막은 압연동박이고, 상기 압연동박은 비정상 결정립 성장법을 통해 (111) 단결정 압연동박으로 변환되고,구리의 (111) 결정면 상에 질소 도핑된 그래핀이 합성되고,상기 질소 도핑된 그래핀은 n형 그래핀인, 도핑 그래핀의 제조 방법
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제1항 내지 제9항 중 어느 한 항의 제조 방법으로 제조된 도핑 그래핀
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