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적외선을 발생시키는 광원;상기 광원에서 조사되는 적외선에서 특정 파장의 적외선만을 통과시키는 파장가변필터;가스가 저장되고, 상기 파장가변필터를 통과한 특정 파장의 적외선이 통과하도록 광경로를 제공하는 가스셀; 및상기 가스셀을 통과한 특정 파장의 적외선의 광량을 측정하는 검출기;를 포함하고,상기 파장가변필터는 상기 자외선의 일정 범위의 파장 중 통과시킬 수 있는 특정 파장을 가변할 수 있어, 적외선의 초기광량과 상기 검출기로부터 검출된 측정광량을 비교하여 특정 파장을 흡수한 다종의 가스를 측정하는 다종 가스 측정장치
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적외선을 발생시키는 광원;가스가 저장되고, 상기 광원에서 조사되는 적외선이 통과하도록 광경로를 제공하는 가스셀; 상기 가스셀을 통과한 적외선에서 특정 파장의 적외선만을 통과시키는 파장가변필터; 및상기 파장가변필터를 통과한 특정 파장의 적외선의 광량을 측정하는 검출기;를 포함하고,상기 파장가변필터는 상기 자외선의 일정 범위의 파장 중 통과시킬 수 있는 특정 파장을 가변할 수 있어, 적외선의 초기광량과 상기 검출기로부터 검출된 측정광량을 비교하여 특정 파장을 흡수한 다종의 가스를 측정하는 다종 가스 측정장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 파장가변필터는,조사되는 적외선이 일부는 반사되고 나머지는 투과하도록 마련된 제1 투과거울; 및상기 제1 투과거울과 일정 거리 이격되어 캐비티를 가지도록 배치되고, 상기 제1 투과거울을 투과한 적외선이 일부는 반사되고 나머지는 투과하도록 마련된 제2 투과거울;을 포함하고,상기 제1 투과거울과 상기 제2 투과거울의 거리를 변경하거나 상기 캐비티의 굴절율을 변경하여 통과시킬 수 있는 특정 파장을 가변하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정장치
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제3항에 있어서, 상기 파장가변필터는,상기 캐비티에 압전소자를 배치하고, 상기 압전소자에 전압을 인가하여 상기 제1 투과거울과 상기 제2 투과거울의 거리를 변경하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정장치
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제3항에 있어서, 상기 파장가변필터는,상기 캐비티에 인가되는 전압에 대응하여 유전율이 변경되는 전기유변유체를 충진하고, 상기 전기유변유체에 전압을 인가하여 상기 캐비티의 굴절율을 가변하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 적외선의 초기광량과 상기 검출기로부터 검출된 측정광량을 비교하여 상기 가스셀 내의 대상 가스의 농도를 산출하는 산출부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정장치
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제6항에 있어서, 상기 산출부는,아래 수식 1 및 수식 2에 상기 측정광량과 상기 초기광량을 적용하여 상기 가스셀 내의 대상 가스의 농도를 산출하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 파장가변필터와 상기 가스셀 사이에 배치되고, 상기 파장가변필터를 통과한 적외선을 제1 적외선과 제2 적외선으로 나누는 빔스플리터;가스가 저장되고, 상기 제2 적외선이 통과하되 다중의 광경로를 제공하는 다중경로 가스셀; 및상기 다중경로 가스셀을 통과한 상기 제2 적외선의 광량을 측정하는 저농도 검출기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정장치
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제2항에 있어서, 상기 광원과 상기 가스셀 사이에 배치되고, 상기 광원에서 조사되는 적외선을 제1 적외선과 제2 적외선으로 나누는 빔스플리터;가스가 저장되고, 상기 제2 적외선이 통과하되 다중의 광경로를 제공하는 다중경로 가스셀;상기 다중경로 가스셀을 통과한 상기 제2 적외선에서 특정 파장의 적외선만을 통과시키는 저농도 파장가변필터; 및상기 저농도 파장가변필터를 통과한 특정 파장의 제2 적외선의 광량을 측정하는 저농도 검출기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정장치
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제9항에 있어서, 상기 저농도 파장가변필터는,상기 제2 자외선의 일정 범위의 파장 중 통과시킬 수 있는 특정 파장을 상기 파장가변필터와 동일하게 가변하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정장치
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제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 다중경로 가스셀은,일정 농도 이하인 저농도 가스의 농도를 측정할 수 있도록 상기 가스셀의 광경로와 비교하여 1,000배 이상의 다중의 광경로를 가지도록 형성된 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 파장가변필터와 상기 가스셀 사이에 배치되고, 상기 파장가변필터를 통과한 적외선을 제1 적외선과 제2 적외선으로 나누는 빔스플리터; 및상기 제2 적외선으로부터 초기광량을 측정하는 초기광량 검출기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정장치
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제2항에 있어서, 상기 광원과 상기 가스셀 사이에 배치되고, 상기 광원에서 조사되는 적외선을 제1 적외선과 제2 적외선으로 나누는 빔스플리터;상기 제2 적외선에서 특정 파장의 적외선만을 통과시키는 초기광 파장가변필터; 및상기 초기광 파장가변필터를 통과한 특정 파장의 제2 적외선으로부터 초기광량을 측정하는 초기광량 검출기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정장치
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제13항에 있어서, 상기 초기광 파장가변필터는,상기 제2 자외선의 일정 범위의 파장 중 통과시킬 수 있는 특정 파장을 상기 파장가변필터와 동일하게 가변하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정장치
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가스셀에 가스를 저장하는 가스 저장단계;측정을 원하는 대상 가스를 선정하고, 선정된 대상 가스가 흡수하는 파장이 파장가변필터를 통과하도록 상기 파장가변필터의 특정 파장을 설정하는 특정 파장 설정단계;상기 파장가변필터와 상기 가스셀을 통과하도록 광원에서 적외선을 조사하는 적외선 조사단계;상기 가스셀을 통과한 특정 파장의 적외선의 광량을 검출하는 광량 검출단계; 및적외선의 초기광량과 상기 광량 검출단계에서 검출된 측정광량을 비교하여 상기 가스셀 내의 대상 가스의 농도를 산출하는 농도 산출단계;를 포함하는 다종 가스 측정방법
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제15항에 있어서, 상기 특정 파장 설정단계는,상기 파장가변필터에 전압을 인가하여 상기 파장가변필터를 통과할 수 있는 특정 파장을 가변하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정방법
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제15항에 있어서, 상기 적외선 조사단계는,상기 파장가변필터의 후방에 상기 가스셀을 배치하여 상기 파장가변필터를 먼저 통과한 후 상기 가스셀을 통과하도록 적외선을 조사하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정방법
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제17항에 있어서, 상기 파장가변필터와 상기 가스셀 사이에 배치된 빔스플리터에 의해 상기 파장가변필터를 통과한 적외선이 제1 적외선과 제2 적외선으로 나누어지고, 상기 가스셀을 통과하지 않는 상기 제2 적외선의 광량을 검출하여 적외선의 초기광량을 측정하는 초기광량 측정단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정방법
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제15항에 있어서, 상기 적외선 조사단계는,상기 가스셀의 후방에 상기 파장가변필터를 배치하여 상기 가스셀을 먼저 통과한 후 상기 파장가변필터를 통과하도록 적외선을 조사하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정방법
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제19항에 있어서, 상기 광원과 상기 가스셀 사이에 배치된 빔스플리터에 의해 적외선이 제1 적외선과 제2 적외선으로 나누어지고, 상기 가스셀을 통과하지 않고 초기광 파장가변필터를 통과한 상기 제2 적외선의 광량을 검출하여 적외선의 초기광량을 측정하는 초기광량 측정단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정방법
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제20항에 있어서, 상기 초기광량 측정단계는,상기 제2 자외선의 일정 범위의 파장 중 통과시킬 수 있는 특정 파장을 상기 파장가변필터와 동일하도록 상기 초기광 파장가변필터에 전압을 인가하여 특정 파장을 가변하는 것을 특징으로 하는 다종 가스 측정방법
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