맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

오염 입자 측정용 광 조사 장치 및 이를 이용한 오염 입자 측정 장치

  • 기술번호 : KST2021003715
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
SMK 보기 상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 오염 입자 측정용 광 조사 장치는 챔버 내의 오염 입자 측정을 위하여 챔버의 내부 공간으로 레이저 광을 조사하는 장치로서, 레이저 광을 생성하여 조사하는 광 조사부, 조사되는 레이저 광의 경로를 챔버를 향하도록 바꾸어주는 반사 거울, 반사 거울에서 반사된 레이저 광을 챔버 내의 일정 위치로 집속하는 포커스 렌즈, 광 조사부를 일정 범위 내에서 직선 이동시키는 액추에이터부를 포함하여 이루어진다. 광 조사부가 일정 범위만큼 직선 이동하기 때문에 결국 챔버 내에서 광이 집속되는 부분이 하나의 특정 지점이 아니라 일정한 영역 범위로 확장된다. 이에 따라, 확장된 영역 범위에 존재하는 오염 입자들을 측정할 수 있게 되어 더욱 정확한 오염 입자 측정이 가능하며, 챔버 내에 광이 집속되도록 미리 설정된 반사 거울과 포커스 렌즈 등의 광학계를 새로 설정할 필요가 없어 적은 비용으로 편리하게 구현할 수 있다.
Int. CL G01N 15/02 (2006.01.01) G01N 21/85 (2006.01.01) G01N 21/01 (2006.01.01)
CPC G01N 15/0211(2013.01) G01N 21/85(2013.01) G01N 21/01(2013.01) G01N 2021/8592(2013.01)
출원번호/일자 1020190126813 (2019.10.14)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-2235245-0000 (2021.03.29)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20210405) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.10.14)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 강상우 대전광역시 서구
2 문지훈 대전시 유성구
3 김종호 대전광역시 동구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김영호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길* (역삼동, 조이타워), ***호(대신특허사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2019-1042833-72
2 보정요구서
Request for Amendment		 2019.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0168064-58
3 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2019.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-1144386-23
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0106862-80
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.10.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0676768-86
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.12.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1306878-54
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-1306877-19
9 등록결정서
Decision to grant		 2021.03.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0181415-43
10 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
 2021.03.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-5009017-87
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버 내의 오염 입자 측정을 위하여 상기 챔버의 내부 공간으로 레이저 광을 조사하는 장치로서,레이저 광을 생성하여 조사하는 광 조사부;상기 광 조사부에서 조사되는 레이저 광의 경로를 상기 챔버를 향하도록 바꾸어주는 반사 거울;상기 반사 거울에서 반사된 레이저 광을 상기 챔버 내의 일정 위치로 집속하는 포커스 렌즈; 및상기 광 조사부를 일정 범위 내에서 직선 이동시키는 액추에이터부를 포함하여 이루어지고,상기 광 조사부의 직선 이동에 따라, 상기 광 조사부가 조사하는 레이저 광이 상기 반사 거울의 중심을 기준으로 일정 범위만큼 직선 이동하며,상기 레이저 광이 직선 이동하는 범위는, 상기 반사 거울의 중심으로부터 0
2 2
제 1 항에 있어서,상기 광 조사부는, 레이저 광을 생성하는 광원부;상기 광원부에서 생성된 광의 평행성을 증가시키는 콜리메이션 렌즈; 및상기 콜리메이션 렌즈를 통과한 광을 균일한 강도를 갖는 균일광 형태로 변환하는 플랫 탑 모듈을 포함하는, 오염 입자 측정용 광 조사 장치
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 기재된 오염 입자 측정용 광 조사 장치; 및상기 챔버 내에서 산란된 광과 소멸된 광 중 하나 이상을 측정하는 광 측정부를 포함하는 오염 입자 측정 장치
6 6
제 5 항에 있어서,상기 챔버를 그대로 통과한 광을 소멸시키는 빔 덤프(Beam dump)를 더 포함하는, 오염 입자 측정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.