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열전지에 사용되는 리튬전극의 성분들에 대한 혼합 상태를 검사하는 방법에 있어서,리튬과 철을 포함하는 상기 리튬전극의 물성치를 측정하여서 상기 리튬전극의 이론 물성치와 비교한 결과를 기초로, 상기 리튬의 함량을 분석하는 제 1 차 검사 단계;전자빔(Electron Beam)을 상기 리튬전극에 주사(Scanning)하여 생성된 이미지를 기초로, 상기 리튬과 상기 철의 분포 상태를 명암에 따라 구분하는 제 2 차 검사 단계; 및 마이크로 X선(Micro X-Ray)을 상기 리튬전극에 주사하여 생성된 이미지를 기초로, 상기 리튬전극의 성분들의 분포 상태를 원자량(Atomic Weight)에 따라 분석하는 제 3 차 검사 단계;를 포함하고,상기 제 3 차 검사 단계는, 상기 리튬전극의 성분들 중에서 나트륨(Na)에 비해 큰 원자량을 가진 상기 철과 기타 성분들을 검출하는 검출 단계, 및 검출된 성분들을 기초로 상기 철의 분포 상태를 매핑(mapping)하는 매핑 단계를 포함하고,상기 검출 단계는 상기 리튬전극에 포함된 전체 성분들 중에서 0
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제 1 항에 있어서, 제 2 차 검사 방법은상기 리튬전극에 2차 전자(Secondary Electron)를 주사하여 상기 리튬전극의 제 1 SEM이미지를 생성하는 단계;상기 리튬전극에 후방산란 전자(Backscattered Electron)를 주사하여 상기 리튬전극의 제 2 SEM이미지를 생성하는 단계; 및생성된 이미지들을 기초로 상기 리튬과 상기 철의 분포 상태를 명암에 따라 구분하는 단계;를 포함하는, 열전지용 리튬전극의 검사방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 차 검사 단계는 상기 리튬전극의 제 1 영역에 수행되고,상기 제 3 차 검사 단계는 상기 제 1 영역에 비해 더 큰 제 2 영역에 수행되는, 열전지용 리튬전극의 검사방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 차 검사 단계는 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)으로 수행되고,상기 제 3 차 검사 단계는 마이크로 X선 형광분석기(Micro X-Ray Fluorescence Analyzer)로 수행되는, 열전지용 리튬전극의 검사방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 차 검사 단계, 상기 제 2 차 검사 단계, 및 상기 제 3 차 검사 단계는 병행하여 수행되는, 열전지용 리튬전극의 검사방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 3 차 검사 단계는 상기 리튬전극의 전면(全面)에 수행 가능한, 열전지용 리튬전극의 검사방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 3 차 검사 단계는 상기 리튬전극의 표면을 따라 이동하면서 수행되는, 열전지용 리튬전극의 검사방법
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