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스핀들에 고정됨에 따라 상기 스핀들에 의해 회전 구동하며 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하는 다이싱 블레이드에 있어서,관통공을 구비하며, 상기 스핀들에 결합되는 결합부;상부, 하부면 및 외주면을 구비하는 본체부;측벽을 구비하며, 상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성되는 제1 절단부; 및상기 제1 절단부와 교호되는 형태로 배치되며, 측벽을 구비하고, 상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성되는 제2 절단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드
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제1항에 있어서,상기 제1 절단부는,기 설정된 형태로 구현되는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드
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제2항에 있어서,상기 기 설정된 형태는,상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성됨에 따라, 본체부의 상부면 및 하부면 중 어느 하나의 면을 기준으로 적어도 90°보다 작은 각도로 기울어진 경사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드
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제1항에 있어서,상기 제2 절단부는,기 설정된 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드
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제4항에 있어서,상기 기 설정된 형태는,상기 측벽과 상기 외주면이 마주보도록 형성됨에 따라, 본체부의 상부면 및 하부면 중 어느 하나의 면을 기준으로 적어도 90°보다 작은 각도로 기울어진 경사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드
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제5항에 있어서,상기 경사면은,제1 절단부의 경사면과 서로 반대 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 다이싱 블레이드
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웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하는 다이싱 장치에 있어서,스핀들;제1항의 다이싱 블레이드;상기 웨이퍼 렌즈 어레이가 안착되며, 상기 웨이퍼 렌즈 어레이를 상기 다이싱 블레이드가 위치한 곳으로 이동시키는 워크 스테이션;상기 웨이퍼 렌즈 어레이의 위치를 검출하는 정렬부;상기 웨이퍼 렌즈 어레이를 상기 워크 스테이션의 상면에 안착시키는 이송부; 및상기 다이싱 장치의 각 구성요소를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로하는 다이싱 장치
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제7항에 있어서,상기 스핀들은,모터에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치
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제7항에 있어서,상기 다이싱 블레이드는,상기 스핀들과 결합되는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치
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제7항에 있어서,상기 웨이퍼 렌즈 어레이는,UV 테이프의 상면에 배치되어 상기 워크 스테이션에 안착되는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치
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제10항에 있어서,상기 UV 테이프는,진공 척의 상면에 배치되는 것을 특징으로 하는 다이싱 장치
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다이싱 블레이드를 이용하여 웨이퍼 렌즈 어레이를 절단하는 방법에 있어서,상기 웨이퍼 렌즈 어레이를 UV 테이프 및 진공 척의 상면에 배치하는 배치과정;상기 UV 테이프 및 진공 척의 상면에 배치된 상기 웨이퍼 렌즈 어레이를 워크 스테이션에 안착하는 안착과정;상기 웨이퍼 렌즈 어레이가 안착된 상기 워크 스테이션을 상기 다이싱 블레이드가 위치한 지점으로 이동시키는 이동과정;상기 웨이퍼 렌즈 어레이의 컷팅 라인과 다이싱 브레이드의 위치를 정렬시키는 정렬과정; 및상기 다이싱 브레이드가 상기 웨이퍼 렌즈 어레이의 컷팅 라인을 따라 절단하는 절단과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이싱 방법
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