| 1 |
1
제1 블록; 및농도 구배(gradient)를 가지는 랜덤 공중합체(random copolymer)를 포함하는 제2 블록을 포함하는 블록 공중합체
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 제1 블록은폴리메틸메타크릴레이트(PMMA)를 포함하고,상기 제2 블록은스타이렌(S)과 펜타플루오로스티렌(PFS) 농도 구배를 가지는 랜덤 공중합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 블록 공중합체는하기 화학식 1 내지 화학식 2로 표시되는 반복단위를 가지는 상기 제1 블록과 하기 화학식 3 내지 화학식 5로 표시되는 반복단위를 가지는 상기 제2 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 블록 공중합체는25에서의 프로리 허긴스 파라미터(Flory-Huggins parameter, χ) 값이 0
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 블록 공중합체는수직 배향된 라멜라 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 라멜라 패턴은5nm 내지 30nm의 패턴 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체
|
| 7 |
7
농도 구배(gradient)를 가지는 랜덤 공중합체(random copolymer)를 포함하는 블록 공중합체를 형성하는 단계; 및상기 형성된 블록 공중합체를 이용하여 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 미세 패턴 형성 방법
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 블록 공중합체는폴리메틸메타크릴레이트(PMMA)를 포함하는 제1 블록; 및스타이렌(S)과 펜타플루오로스티렌(PFS) 농도 구배를 가지는 랜덤 공중합체를 포함하는 제2 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 형성 방법
|
| 9 |
9
제7항에 있어서,상기 블록 공중합체는하기 화학식 1 내지 화학식 2로 표시되는 반복단위를 가지는 제1 블록과 하기 화학식 3 내지 화학식 5로 표시되는 반복단위를 가지는 제2 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 형성 방법
|
| 10 |
10
제7항에 있어서,상기 블록 공중합체는25에서의 프로리 허긴스 파라미터(Flory-Huggins parameter, χ) 값이 0
|
| 11 |
11
제7항에 있어서,상기 블록 공중합체는수직 배향된 라멜라 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 형성 방법
|
| 12 |
12
제11항에 있어서,상기 라멜라 패턴은5nm 내지 30nm의 패턴 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 형성 방법
|
