| 1 |
1
복제 공정을 위한 마스터를 제작하는 방법에 있어서,(a) 반복적인 성형 공정을 위한 내구성을 가지는 모재를 준비하는 단계; 및(b) 상기 모재 상에 증착 물질을 증착시켜 나노 또는 마이크로 크기의 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 나노 또는 마이크로 구조물이 형성된 마스터를 제작하는 방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 (b) 단계는상기 모재 위에 나노 또는 마이크로 크기의 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 정렬시켜 상기 모재에 상기 증착 물질을 증착시키는 단계; 및상기 쉐도우 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 나노 또는 마이크로 구조물이 형성된 마스터를 제작하는 방법
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 (b) 단계는 상기 모재에 포토 레지스트(photo resist) 층을 형성하는 단계;상기 모재 위에 나노 또는 마이크로 크기의 패턴 제작을 위한 마스크를 정렬시켜 노광 및 식각에 의해 상기 포토 레지스트 층에 나노 또는 마이크로 크기의 패턴을 형성하는 단계;상기 나노 또는 마이크로 크기의 패턴이 형성된 포토 레지스트 층을 통해 상기 모재에 상기 증착 물질을 증착시키는 단계; 및상기 포토 레지스트 층을 리프트 오프(lift-off)시키는 단계를 포함하는 나노 또는 마이크로 구조물이 형성된 마스터를 제작하는 방법
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 (a) 단계는상기 모재의 증착면 상에 상기 증착되는 구조물보다 더 큰 크기의 구조물을 가공하는 단계를 더 포함하는 나노 또는 마이크로 구조물이 형성된 마스터를 제작하는 방법
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 (a) 단계 이후에 상기 모재의 증착면 상에 상기 모재와 상기 증착되는 구조물 사이의 계면 접착력을 향상시키는 접착층을 형성하는 단계를 더 포함하는 나노 또는 마이크로 구조물이 형성된 마스터를 제작하는 방법
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,(b) 단계 이후에상기 모재 및 증착 구조물을 가열시켜 열처리를 하는 단계를 더 포함하는 나노 또는 마이크로 구조물이 형성된 마스터를 제작하는 방법
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서,스퍼터링 또는 전자빔증발법으로 상기 증착 물질을 증착시키는 나노 또는 마이크로 구조물이 형성된 마스터를 제작하는 방법
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서,상기 모재는 니켈(Ni), 써스(SUS), 황동, 동, 금형강, 지르코늄(Zr), 스틸, 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 중 어느 하나로 형성되는 나노 또는 마이크로 구조물이 형성된 마스터를 제작하는 방법
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서,상기 증착 물질은 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 금(Au), 백금(Pt), 구리(Cu), 철(Fe), 아연(Zn), 지르코늄(Zr), 몰리브덴(Mo), 루테늄(Ru), 팔라듐(Pd), 주석(Sn), 하프늄(Hf), 탄탈럼(Ta), 텅스텐(W), 로렌슘(Lr) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 나노 또는 마이크로 구조물이 형성된 마스터를 제작하는 방법
|
| 10 |
10
제 5 항에 있어서,상기 접착층은 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 지르코늄(Zr), 로렌슘(Lr), 텅스텐(W), 탄탈럼(Ta), 니오븀(Nb), 이산화 타이타늄(TiO2), 산화 니켈(nickel oxide), 질화티타늄(TiN) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 물질로 형성되는 나노 또는 마이크로 구조물이 형성된 마스터를 제작하는 방법
|
