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고분자 용액에 수용성 형판을 투입한 후 경화제를 투입하여 상기 수용성 형판을 코팅한 후 상기 고분자 용액에서 꺼낸 수용성 형판을 열처리하고 상기 열처리된 수용성 형판을 물에 침지시켜 다공성 유전체를 형성하는 단계;전극 형태의 형판을 배치한 프레임에 고분자 용액을 주입하고 경화시켜 형성한 몰드에 전도성 물질과 폴리머 바이더가 교반된 전도성 용액을 주입하고 열처리하여 제1 유연 전극과 제2 유연 전극을 형성하는 단계; 및상기 제1 유연 전극과 상기 제2 유연 전극 사이에 상기 다공성 유전체를 연결하여 정전용량형 압력 센서를 형성하는 단계를 포함하며,상기 정전용량형 압력 센서가 감지하는 고 압력 범위에서 상기 다공성 유전체의 두께가 증가하면 정전용량의 변화율이 증가하고, 저 압력 범위에서 상기 다공성 유전체의 두께가 감소하면 상기 정전용량의 변화율이 증가하는 것을 특징으로 하는 저온 용액 공정에 기반한 정전용량형 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 다공성 유전체를 형성하는 단계는 70℃ 내지 110℃의 온도 범위에서 열처리하고, 상기 제1 유연 전극과 상기 제2 유연 전극을 형성하는 단계는 120℃의 온도 범위에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 저온 용액 공정에 기반한 정전용량형 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 고 압력 범위는 100K N/m2 내지 500K N/m2이고, 상기 저 압력 범위는 200 N/m2 내지 1250 N/m2인 것을 특징으로 하는 포함하는 정전용량형 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 수용성 형판은 폴리스티렌(Polystyrene) 또는 락타이드-글리콜라이드 공중합체(Poly(Lactic-co-Glycolic Acid))인 것을 특징으로 하는 포함하는 정전용량형 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 고분자 용액은 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane, PDMS) 용액 또는 에코플렉스(Ecoflex) 용액인 것을 특징으로 하는 포함하는 정전용량형 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 전도성 물질은 탄소나노튜브(Carbon Nano Tube, CNT), 그래핀(Graphene), 산화 환원 그래핀(Reduced Graphene Oxide, RGO), 금속 나노와이어(Metal Nanowire), 금속 나노입자(Metal Nanoparticle), 또는 이들의 조합으로 된 고분자 물질인 것을 특징으로 하는 정전용량형 압력 센서의 제조 방법
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정전용량형 압력 센서에 있어서,제1 유연 전극;상기 제1 유연 전극과 이격된 제2 유연 전극; 및상기 제1 유연 전극 및 상기 제2 유연 전극 사이에 형성된 다공성 유전체를 포함하며,상기 다공성 유전체는 고분자 용액에서 수용성 형판을 코팅한 후 상기 고분자 용액에서 꺼낸 수용성 형판을 열처리하고 상기 열처리된 수용성 형판을 물에 침지시켜 형성되고, 상기 제1 유연 전극과 상기 제2 유연 전극은 몰드에 전도성 물질과 폴리머 바이더가 교반된 전도성 용액을 주입하고 열처리하여 형성되며,상기 정전용량형 압력 센서가 감지하는 고 압력 범위에서 상기 다공성 유전체의 두께가 증가하면 정전용량의 변화율이 증가하고, 저 압력 범위에서 상기 다공성 유전체의 두께가 감소하면 상기 정전용량의 변화율이 증가하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 압력 센서
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제8항에 있어서,상기 고 압력 범위는 100K N/m2 내지 500K N/m2이고, 상기 저 압력 범위는 200 N/m2 내지 1250 N/m2인 것을 특징으로 하는 포함하는 정전용량형 압력 센서
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제8항에 있어서,상기 제1 유연 전극과 상기 제2 유연 전극은 외부로 돌출된 커넥터를 포함하는 정전용량형 압력 센서
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제8항에 있어서,상기 전도성 물질은 탄소나노튜브(Carbon Nano Tube, CNT), 그래핀(Graphene), 산화 환원 그래핀(Reduced Graphene Oxide, RGO), 금속 나노와이어(Metal Nanowire), 금속 나노입자(Metal Nanoparticle), 또는 이들의 조합으로 된 고분자 물질인 것을 특징으로 하는 정전용량형 압력 센서
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절단 절삭 공정 장비의 자동 안전 정지 장치; 및상기 절단 절삭 공정 장비에 연결되어 상기 절단 절삭 공정 장비로 제어 신호를 전송하는 정전용량형 압력 센서를 포함하며,상기 정전용량형 압력 센서는,제1 유연 전극;상기 제1 유연 전극과 이격된 제2 유연 전극; 및상기 제1 유연 전극 및 상기 제2 유연 전극 사이에 형성된 다공성 유전체를 포함하며,상기 다공성 유전체는 고분자 용액에서 수용성 형판을 코팅한 후 상기 고분자 용액에서 꺼낸 수용성 형판을 열처리하고 상기 열처리된 수용성 형판을 물에 침지시켜 형성되고, 상기 제1 유연 전극과 상기 제2 유연 전극은 몰드에 전도성 물질과 폴리머 바이더가 교반된 전도성 용액을 주입하고 열처리하여 형성되며,상기 정전용량형 압력 센서가 감지하는 고 압력 범위에서 상기 다공성 유전체의 두께가 증가하면 정전용량의 변화율이 증가하고, 저 압력 범위에서 상기 다공성 유전체의 두께가 감소하면 상기 정전용량의 변화율이 증가하는 것을 특징으로 하는 자동 안전 정지 시스템
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