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도체가 증착된 제1 기판에 대해 레이저를 이용하여 도체 패터닝 공정을 수행하는 단계;도체 패터닝된 제1 기판에 절연 재료를 사용하여 포토 리소그래피 공정에 의해 절연 공정을 수행하는 단계; 및백금 흑 용액 또는 산화이리듐 용액을 사이트 개방된 복수의 기록 전극 및 기준 전극에 전착하는 단계를 포함하는 레이저 패터닝과 감광성 폴리머 절연막을 이용한 평면형 다중 전극 어레이 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 도체는 금, 백금, 인듐-주석 산화물 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 레이저 패터닝과 감광성 폴리머 절연막을 이용한 평면형 다중 전극 어레이 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 도체 패터닝 공정을 수행하는 단계는,도면 기반으로 도체의 모양을 따라 기 정해진 선폭의 레이저 선으로 패터닝되는 것을 특징으로 하는 레이저 패터닝과 감광성 폴리머 절연막을 이용한 평면형 다중 전극 어레이 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 절연 재료는 SU-8 네거티브 포토레지스트인 것을 특징으로 하는 레이저 패터닝과 감광성 폴리머 절연막을 이용한 평면형 다중 전극 어레이 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 절연 공정을 수행하는 단계는,상기 도체 패터닝된 제1 기판 상에 상기 절연 재료를 스핀 코팅하는 단계; 핫 플레이트 상에서 소프트 베이크를 실시하는 단계;상기 절연 재료를 얼라이너를 사용하여 노광하는 단계;노광 후 베이크(PEB; post expose bake)를 실시하는 단계;현상 후 헹굼 및 건조를 실시하는 단계; 및핫 플레이트에서 하드 베이크를 실시하는 경화 단계를 포함하며, 상기 소프트 베이크 및 PEB는 90초 이상 실시하는 것을 특징으로 하는 레이저 패터닝과 감광성 폴리머 절연막을 이용한 평면형 다중 전극 어레이 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제1 기판의 하부에 네거티브 포토 레지스트로 이루어진 제2 기판을 추가로 결합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 레이저 패터닝과 감광성 폴리머 절연막을 이용한 평면형 다중 전극 어레이 제조 방법
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