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제1반응기와 제2반응기가 구비된 초임계 반응장치로부터 폴리실라잔을 제조하는 방법에 있어서,(제1단계) 상기 제2반응기에 암모늄카바메이트를 투입하고, 상기 제1반응기에 실란 화합물을 주입하는 단계;(제2단계) 상기 제1반응기는 상온에서 유지하고, 제2반응기는 가열하는 단계;(제3단계) 상기 제1반응기 및 제2반응기에 이산화탄소를 주입하여 가압하는 단계;(제4단계) 상기 제1반응기의 가압 압력을 제2반응기의 압력보다 높게 가압하여 제1반응기의 실란 화합물을 제2반응기로 이송시켜 초임계 반응을 유도하는 단계;(제5단계) 상기 제2반응기로부터 초임계 반응으로 얻어진 생성물을 회수하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1단계의 실란 화합물은 디클로로실란인 것을 특징을 하는 폴리실라잔의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제2단계에서 상기 제2반응기의 가열온도는 65℃ 이상인 것을 특징으로 하는 것을 특징을 하는 폴리실라잔의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 제2반응기의 암모늄카바메이트가 분해되어 암모니아를 생성하는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제2계에서 이산화탄소 주입 후의 제1반응기의 압력은 130~150bar이고,상기 제2반응기의 압력은 제1반응기의 압력보다 낮게 가압하는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1반응기와 제2반응기는 개폐밸브가 구비된 이송관으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제3단계에서 이산화탄소를 10~30mL/min의 속도로 주입하는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1반응기와 제2반응기가 구비된 반응장치가 복수개로 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔의 제조방법
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