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반도체 기판 상에 식각 방지층을 형성하는 단계;상기 식각 방지층 상에 희생층을 형성하는 단계;상기 희생층 상에 멤브레인층을 형성하는 단계;상기 멤브레인층에 상기 희생층을 노출하는 식각홀을 형성하는 단계;상기 식각홀을 통해서 상기 희생층의 적어도 어느 일부를 제거하여 나노포스트를 형성하는 단계;상기 식각홀을 실링하는 실링층을 형성하여, 상기 멤브레인층과 상기 반도체 기판 사이에 진공 갭을 형성하는 단계; 및상기 멤브레인층 상에 상부 전극층을 형성하는 단계;를 포함하는, 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 진공 갭은 상기 실링층, 상기 멤브레인층, 및 상기 식각 방지층에 의해서 둘러싸인,정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 희생층을 형성하는 단계는,상기 식각 방지층 상에 식각 채널을 구비하는 채널층을 형성하는 단계; 및상기 채널층 상에 상기 희생층을 형성하는 단계;를 포함하는,정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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제 3 항에 있어서,상기 식각 채널에 의해서 상기 희생층의 적어도 어느 일부분에 오목부가 형성되어, 상기 멤브레인층의 일부가 상기 오목부 내로 하방 돌출되도록 형성되는,정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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제 4 항에 있어서,상기 실링층은 상기 식각홀을 통해서 상기 식각 채널 내로 하방 돌출된 상기 멤브레인층 부분까지 형성된,정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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제 4 항에 있어서,상기 상부 전극층은 상기 식각 채널 방향으로 일부 하방 돌출되도록 상기 멤브레인층 상에 형성된,정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 식각 방지층, 상기 실링층 및 상기 멤브레인층은 동일 물질로 형성하는,정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 식각 방지층, 상기 실링층 및 상기 멤브레인층은 실리콘 질화물을 포함하는,정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 나노포스트를 형성하는 단계는,상기 희생층의 측면 방향의 식각 속도를 제어하여, 상기 나노포스트의 직경 및 크기를 제어하는 단계를 포함하는,정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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반도체 기판;상기 반도체 기판 상에 형성된 식각 방지층;상기 식각 방지층 상에 형성된 멤브레인층; 및상기 멤브레인층 상의 상부 전극층;을 포함하고, 상기 멤브레인층은 상기 식각 방지층의 적어도 어느 일부 상에 형성된 나노포스트 및 상기 나노포스트의 측벽을 둘러싸는 캐비티를 포함하는 진공 갭에 의해서 상기 반도체 기판 상으로 이격되며, 상기 진공 갭은 상기 식각 방지층, 상기 멤브레인층 및 상기 멤브레인층 상에 형성된 실링층에 의해 밀폐된,정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서
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