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(a) 기판 상에 다공성 전극 물질을 형성하는 단계;(b) 상기 다공성 전극 물질 표면 상에 백금 또는 니켈을 포함하는 제1금속 또는 제1금속합금 나노입자를 도포하여 다공성 전극 복합체를 제조하는 단계; 및(c) 상기 다공성 전극 복합체 상에 원자층 증착법(atomic layer deposition: ALD)을 통하여 제2금속 산화물 박막을 증착하는 단계; 를 포함하고,상기 제2금속 산화물 박막 증착은 불완전 증착인 것을 특징으로 하는, 고체 산화물 연료전지용 연료극 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제2금속 산화물 박막 증착은 표면 커버리지가 75 내지 90%로 이루어지는 것인, 고체 산화물 연료전지용 연료극 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제2금속 산화물 박막 증착은 표면 커버리지가 80 내지 88%로 이루어지는 것인, 고체 산화물 연료전지용 연료극 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 (b) 단계는 백금 또는 니켈을 포함하는 제1금속 전구체 용액을 다공성 전극 물질에 함침 및 환원하여 금속 나노입자를 도포하는 것인, 고체 산화물 연료전지용 연료극 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제2금속 산화물 박막의 두께는 2
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제 1항에 있어서,상기 (c) 단계의 증착은 다공성 전극 복합체를 반응챔버에 투입한 후, 제2금속 전구체 원료가스를 주입하는 단계; 및 반응가스를 주입하는 단계를 포함하는 단위공정을 2회 이상 수행하고, 상기 단위공정은 140 내지 160 ℃에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 고체 산화물 연료전지용 연료극 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제2금속 산화물은 Al2O3, TiO2, ZnO, ZrO2, HfO2, Ta2O5, Nb2O5, Y2O3, CeO2, SiO2, La2O3, Lu2O3, PrAlO3, Er2O3, HfAlO, HfSiO, ZrSiO, ZrAlO, HfON, HfSiON, SrTiO3 및 BaTiO3로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는, 고체 산화물 연료전지용 연료극 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제2금속 산화물은 루타일(rutile) TiO2인, 고체 산화물 연료전지용 연료극 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 다공성 전극 물질은 Ni, Cu, Pt, 및 Sm로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 이상의 금속으로 도핑된 CeO2, LSCF(Lanthanum strontium cobalt ferrite), LSSM(Lanthanum strontium scandium manganite), LST(Lanthanum strontium titanate), LSTM(Lanthanum strontium titanium manganite), LSCM(Lanthanum strontium cobalt manganite), PBMO(Layered-praseodymium barium manganite)의 금속 및 이의 산화물로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는, 고체 산화물 연료전지용 연료극 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 기판은 Y and/or Sc-doped ZrO2, Gd, Sm and/or Sc-doped CeO2, Er and/or Y-doped Bi2O3, Y and/or Yb-doped BaCeO3, Y and/or Yb-doped BaZrO3로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상을 포함하는, 고체 산화물 연료전지용 연료극 제조방법
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제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 고체 산화물 연료전지용 연료극
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