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광학 카메라 통신을 이용한 밸브 감시 시스템

  • 기술번호 : KST2021004864
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광학 카메라 통신을 이용하여 반도체 공정 설비 중 하나인 배관 밸브의 상태를 감시할 수 있는 밸브 감시 시스템을 제공한다. 상기 밸브 감시 시스템은, 밸브에 장착되고, 상기 밸브의 상태에 따른 접점 신호를 전달하는 밸브 스위치; 및 상기 접점 신호에 따라 상기 밸브의 상태를 나타내는 광 신호를 송신하는 송신기;를 포함하고, 상기 송신기는 상기 광 신호를 출력하는 제1 및 제2 엘이디; 및 상기 접점 신호에 따라 상기 제1 및 제2 엘이디를 제1 및 제2 주파수 또는 상기 제2 및 제1 주파수로 점멸시키는 마이크로 컨트롤러;를 포함한다.
Int. CL F16K 37/00 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC F16K 37/0058(2013.01) F16K 37/0041(2013.01) H01L 21/67242(2013.01)
출원번호/일자 1020190132036 (2019.10.23)
출원인 에스케이하이닉스 주식회사, 국민대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0048134 (2021.05.03) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이하이닉스 주식회사 대한민국 경기도 이천시
2 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장영민 서울특별시 강남구
2 응웬콩환 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이철희 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***길 *, ***호 가디언국제특허법률사무소 (삼성동, 우경빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2019-1082448-23
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
밸브에 장착되고, 상기 밸브의 상태에 따른 접점 신호를 전달하는 밸브 스위치; 및상기 접점 신호에 따라 상기 밸브의 상태를 나타내는 광 신호를 송신하는 송신기;를 포함하고, 상기 송신기는, 상기 광 신호를 출력하는 제1 및 제2 엘이디; 및상기 접점 신호에 따라 상기 제1 및 제2 엘이디를 제1 및 제2 주파수 또는 상기 제2 및 제1 주파수로 점멸시키는 마이크로 컨트롤러;를 포함하는 밸브 감시 시스템
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 광 신호를 수신하는 광학 카메라;를 더 포함하는 밸브 감시 시스템
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 밸브 스위치는 상기 밸브의 턴-온 시 상기 접점 신호를 상기 마이크로 컨트롤러에 전달하는 밸브 감시 시스템
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 마이크로 컨트롤러는 상기 접점 신호를 수신하는 포트 단자를 포함하는 밸브 감시 시스템
5 5
제 4 항에 있어서,상기 포트 단자는 상기 밸브의 턴-오프 시 접지전압 레벨로 고정되는 밸브 감시 시스템
6 6
제 5 항에 있어서,상기 밸브 스위치의 턴-오프 시 상기 포트 단자를 풀-다운 구동하는 소자를 더 포함하는 밸브 감시 시스템
7 7
제 1 항에 있어서,상기 마이크로 컨트롤러는 상기 밸브의 상태 변경에 따라 레벨이 결정되는 상기 접점 신호에 따라 상기 제1 및 제2 엘이디를 상기 제1 및 제2 주파수 또는 상기 제2 및 제1 주파수로 점멸시키는 밸브 감시 시스템
8 8
밸브들의 상태를 나타내는 광 신호를 송신하는 적어도 하나의 송신기;상기 광 신호를 수신하여 밸브의 상태를 감시하는 광학 카메라;를 포함하고,상기 밸브들 각각은 상기 밸브의 온 또는 오프 상태에 따른 접점 신호를 상기 송신기에 전달하는 밸브 스위치를 포함하며,상기 송신기는, 상기 광 신호를 출력하는 제1 및 제2 엘이디; 및상기 접점 신호에 따라 상기 제1 및 제2 엘이디를 제1 및 제2 주파수 또는 상기 제2 및 제1 주파수로 점멸시키는 마이크로 컨트롤러;를 포함하는 밸브 감시 시스템
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 밸브 스위치는 상기 밸브의 턴-온 시 상기 접점 신호를 상기 마이크로 컨트롤러에 전달하는 밸브 감시 시스템
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 마이크로 컨트롤러는 상기 접점 신호를 수신하는 포트 단자를 포함하는 밸브 감시 시스템
11 11
제 10 항에 있어서,상기 포트 단자는 상기 밸브의 턴-오프 시 일정 전압 레벨로 고정되는 밸브 감시 시스템
12 12
제 11 항에 있어서,상기 밸브 스위치의 턴-오프 시 상기 포트 단자를 풀-다운 구동하는 소자를 더 포함하는 밸브 감시 시스템
13 13
제 8 항에 있어서,상기 마이크로 컨트롤러는 상기 밸브의 상태 변경에 따라 레벨이 결정되는 상기 접점 신호에 따라 상기 제1 및 제2 엘이디를 상기 제1 및 제2 주파수 또는 상기 제2 및 제1 주파수로 점멸시키는 밸브 감시 시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.