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일 방향으로 연장 형성되는 베이스;압전소자(piezoelectric element)로 이루어지고, 각각의 일면이 상기 베이스의 일면과 타면에 각각 접하도록 형성되어 상기 베이스에 의해 지지되는 제1 압전소자부와 제2 압전소자부; 및각각 상기 제1 및 제2 압전소자부의 타면에 접하도록 형성되고, 적어도 일부가 서로 마주보게 배치되는 제1 전극과 제2 전극을 포함하고,상기 제1 및 제2 전극 측은 고정되며, 상기 베이스 측은 자유단(free end)이 되는 가속도 센서
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 압전소자부의 진동 방향은, 전기장이 상기 제1 및 제2 전극이 서로 마주하는 제1 방향으로 형성되고, 변형은 상기 제1 및 제2 압전소자부가 연장되는 제2 방향으로 형성되는 가속도 센서
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제1항에 있어서,상기 베이스는, 상기 자유단이 형성되는 일단부로 갈수록 단면적이 감소하게 형성되는 가속도 센서
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제1항에 있어서,상기 압전소자가, [011] 방향으로 분극된 압전 단결정 소재로 이루어진 가속도 센서
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제4항에 있어서,상기 압전 단결정 소재는 PMN-PT, PIN-PMN-PT, PIN-PMN-PT Mn dopped, PMN-PZT 및 PMN-PZT Mn dopped 중 적어도 하나를 포함하는 가속도 센서
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제1항에 있어서,상기 베이스에서 상기 자유단이 형성되는 일단부에 결합되는 중량부를 더 포함하는 가속도 센서
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제6항에 있어서,상기 베이스는, 상기 자유단이 형성되는 일단부에서 상기 제1 및 제2 압전소자부로부터 돌출 형성되는 노출부를 구비하고,상기 중량부는 상기 노출부의 적어도 일부를 감싸도록 형성되는 가속도 센서
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8
제1항 내지 제7항에 중 어느 한 항에 따른 가속도 센서; 및중공부를 구비하며, 상기 중공부에 상기 가속도 센서를 수용하는 하이드로폰을 포함하는 음향 벡터 센서
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제8항에 있어서,상기 가속도 센서는, 각각의 상기 자유단이 서로 마주보게 배치되는 제1 가속도 센서와 제2 가속도 센서로 이루어지고,상기 제1 가속도 센서와 상기 제2 가속도 센서는, 진동 방향이 서로 교차하도록 이루어지는 음향 벡터 센서
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제9항에 있어서,상기 제1 및 제2 가속도 센서는, 진동 방향이 서로 수직을 이루도록 배치되는 음향 벡터 센서
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제8항에 있어서,상기 하이드로폰은 일 방향으로 연장 형성되며, 양단부에 개구부를 구비하고,상기 개구부에 결합되어 상기 하이드로폰의 양단부를 폐쇄하도록 형성되고, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극의 일단부에 각각 결합되어, 상기 제1 및 제2 전극 측을 고정시키는 엔드캡부를 더 포함하는 음향 벡터 센서
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중공부를 구비하는 하이드로폰; 및압전소자(piezoelectric element)를 구비하고, 상기 하이드로폰의 중공부에서 각각 일단부는 고정되며 타단부는 자유로운 상태로 서로 마주보게 배치되며, 전달되는 음향파에 의해 서로 마주보는 타단부가 진동을 일으키도록 구성되는 제1 가속도 센서와 제2 가속도 센서를 포함하고,상기 제1 및 제2 가속도 센서는, 진동 방향이 서로 교차하도록 배치되는 음향 벡터 센서
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제12항에 있어서,상기 제1 및 제2 가속도 센서는, 진동 방향이 서로 수직을 이루도록 배치되는 음향 벡터 센서
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