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전도성 기판 상에 전해도금 공정을 통해 사마륨(Sm) 및 코발트(Co) 함유 비정질 합금 박막을 형성하는 제1 단계;상기 비정질 합금 박막 표면에 염화나트륨(NaCl) 및 칼슘(Ca)의 혼합물을 도포하는 제2 단계; 및불활성 분위기에서 열처리하여 상기 비정질 합금 박막을 결정화시키는 제3 단계;를 포함하는, Sm-Co 영구자석의 제조방법
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전도성 기판 상에 전해도금 공정을 통해 Sm 및 Co 함유 비정질 합금 박막을 형성하는 제1 단계; 상기 비정질 합금 박막 표면에 염화나트륨(NaCl), 칼슘(Ca) 및 사마륨 산화물(Sm2O3)의 혼합물을 도포하는 제2 단계; 및불활성 분위기에서 열처리하여 상기 비정질 합금 박막을 결정화시키는 제3 단계(S230)를 포함하는, Sm-Co 영구자석의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제3 단계동안 결정화된 합금 박막의 조성은 Sm2Co17인 것을 특징으로 하는, Sm-Co 영구자석의 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 제3 단계동안 결정화된 합금 박막의 조성은 SmCo5인 것을 특징으로 하는, Sm-Co 영구자석의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 결정화된 합금 박막으로부터 칼슘(Ca) 및 염화나트륨(NaCl)을 제거하는 제4 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, Sm-Co 영구자석의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 단계의 전해도금은 용매로 초순수(D
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제6항에 있어서, 상기 전해 도금 용액은 상기 사마륨과 상기 코발트를 1: 0
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제6항에 있어서,상기 비정질 합금 박막은 SmCo 합금 이외에 적어도 일부에 사마륨(Sm)의 산화물 상 및 황(S)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, Sm-Co 영구자석의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 비정질 합금 박막은 상기 사마륨(Sm) 원소를 0
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제1항에 있어서,상기 염화나트륨(NaCl) 및 칼슘(Ca)의 혼합물은 상기 염화나트륨(NaCl)을 상기 비정질 합금 박막 전체 질량의 3 내지 4배의 질량으로 포함하고, 상기 칼슘(Ca)을 상기 비정질 합금 박막과 상기 염화나트륨(NaCl)의 총 질량의 45 내지 55 wt%의 비율로 포함하는 것을 특징으로 하는, Sm-Co 영구자석의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 염화나트륨(NaCl), 칼슘(Ca) 및 사마륨산화물(Sm2O3)의 혼합물은 상기 염화나트륨(NaCl)을 상기 비정질 합금 박막 전체 질량의 3 내지 4배의 질량으로 포함하고, 상기 사마륨산화물(Sm2O3)을 상기 비정질 합금 박막 전체 질량의 20 내지 30 wt%의 비율로 포함하며, 상기 칼슘(Ca)을 상기 비정질 합금 박막, 상기 염화나트륨(NaCl) 및 상기 사마륨산화물(Sm2O3)의 총 질량의 45 내지 55 wt%의 비율로 포함하는 것을 특징으로 하는, Sm-Co 영구자석의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제3 단계에서 상기 열처리는 800 내지 1000℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는, Sm-Co 영구자석의 제조방법
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