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기판 상에 형성된 인터디지털 커패시터가 구비된 인터-디지털 회로들; 및 실온에서, 에어로졸 증착 공정을 통해 증착 챔버의 노즐로부터 에어로졸들을 분사하여 상기 기판에 충돌하면서 증착하여 형성된 나노 복합체 필름(nanocomposite films)의 코팅 층을 포함하며, 습도에 따라 커패시턴스가 변하는 용량-형 습도 센서를 구비하는, 실온에서 에어로졸 증착에 의한 페로브스카이트-유도 초-민감도와 고안정 습도 센서 시스템
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제1항에 있어서, 상기 에어로졸 증착 공정은 실온에서, 에어로졸 증착 장비는 나노복합체 파우더들(nanocomposite powders)로딩되고 공급될 원료 분말이 위치하는 에어로졸 챔버와; 상기 에어로졸 챔버와 증착 챔버 간의 압력 차이로 발생한 가스 흐름에 의해 에어로졸화된 분말 입자들(powder particles)이 증착 챔버로 이송되며(Aerosol flow)는 상기 증착 챔버를 구비하며, 상기 에어로졸 증착 공정에 의해 Al2O3, TiO2, 및 BaTiO3의 세라믹들과 함께 금속 할라이드 페로브스카이트(metal halide perovskite, CsPbBr3 및 CsPb2Br5)가 센싱 물질을 조성하여, 상기 증착 챔버로부터 슬릿 형태의 노즐을 통해 에어로졸들을 분사하여 상기 기판 상에 형성된 인터디지털 커패시터가 구비된 인터-디지털 회로들에 충돌하면서 상기 나노 복합체 필름(nanocomposite films)의 코팅 층을 증착하여 형성하는, 실온에서 에어로졸 증착에 의한 페로브스카이트-유도 초-민감도와 고안정 습도 센서 시스템
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제2항에 있어서, 상기 나노 복합체 필름은 상기 에어로졸 증착공정에 의해 페로브스카이트/세라믹 나노 복합체 필름(perovskite/ceramic nanocomposite films)의 코팅 층을 인 것을 특징으로 하는 실온에서 에어로졸 증착에 의한 페로브스카이트-유도 초-민감도와 고안정 습도 센서 시스템
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제2항에 있어서, 상기 나노 복합체 필름은 상기 에어로졸 증착 공정에 의해 CsPbBr3/Al2O3 나노 복합체 층이 형성되는, 실온에서 에어로졸 증착에 의한 페로브스카이트-유도 초-민감도와 고안정 습도 센서 시스템
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제2항에 있어서, 상기 나노 복합체 필름은 상기 에어로졸 증착 공정에 의해 CsPbBr3/TiO2 나노 복합체 층이 형성되는, 실온에서 에어로졸 증착에 의한 페로브스카이트-유도 초-민감도와 고안정 습도 센서 시스템
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제2항에 있어서, 상기 나노 복합체 필름은 상기 에어로졸 증착 공정에 의해 CsPb2Br5/BaTiO3 나노 복합체 층이 형성되는, 실온에서 에어로졸 증착에 의한 페로브스카이트-유도 초-민감도와 고안정 습도 센서 시스템
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제3항에 있어서, 상기 페로브스카이트/세라믹 나노 복합 필름의 코팅 층은 100nm 두께로 형성되는, 실온에서 에어로졸 증착에 의한 페로브스카이트-유도 초-민감도와 고안정 습도 센서 시스템
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제1항에 있어서, 상기 용량-형 습도 센서는 습도에 따라 커패시턴스가 변하며 감도가 높고 안정성이 있는 페로브스카이트/세라믹 재료로 구성된 CsPb2Br5/BaTiO3 나노복합체 습도 센서 인 것을 특징으로 하는 실온에서 에어로졸 증착에 의한 페로브스카이트-유도 초-민감도와 고안정 습도 센서 시스템
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제1항에 있어서, 상기 용량-형 습도 센서로써, 실온에서 몇 분 동안 AD 프로세스에 의해 제조된 CsPb2Br5/BaTiO3 나노복합체 습도 센서는 CsPbBr3/Al2O3 및 CsPbBr3/TiO2 센서들과 비교하여 습도 센싱 성능에 있어서, 우수한 선형성(linearity 0
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