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4족 전이금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 박막증착용 조성물

  • 기술번호 : KST2021005161
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 4족 전이금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여　박막을 형성하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 4족 전이금속 화합물은 휘발성이 우수하고 열적으로 안정하여, 이를 전구체로 이용하여 고밀도 및 고순도의 4족 전이금속함유 박막을 제조할 수 있다.
Int. CL C07F 7/28 (2006.01.01) C07F 7/00 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01)
CPC C07F 7/28(2013.01) C07F 7/00(2013.01) C23C 16/40(2013.01) C23C 16/45553(2013.01)
출원번호/일자 1020190135051 (2019.10.29)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0050689 (2021.05.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.10.29)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정택모 대전광역시 유성구
2 박보근 대전광역시 유성구
3 이가연 대전광역시 유성구
4 엄태용 대전광역시 유성구
5 여승민 대전광역시 유성구
6 김건환 대전광역시 유성구
7 이영국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-1103459-63
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 4족 전이금속 화합물:[화학식 1]상기 화학식 1에서,M은 4족 전이금속이고;R1 내지 R6은 서로 독립적으로 C1-C10알킬 또는 C3-C10시클로알킬이며;R11 내지 R15는 서로 독립적으로 수소 또는 C1-C10알킬이다
2 2
제 1항에 있어서,상기 화학식 1에서,M은 티타늄, 지르코늄 또는 하프늄이고;R1 내지 R6은 서로 독립적으로 C1-C7알킬이며;R11 내지 R15는 서로 독립적으로 수소 또는 C1-C7알킬인 4족 전이금속 화합물
3 3
제 2항에 있어서,상기 M은 지르코늄 또는 하프늄이고;R1 내지 R3은 서로 동일하게 C1-C4알킬이며;R4 내지 R6은 서로 동일하게 C1-C4알킬인 4족 전이금속 화합물
4 4
제 1항에 있어서,하기 구조에서 선택되는 것인 4족 전이금속 화합물
5 5
하기 화학식 3의 화합물과 화학식 4의 화합물을 반응시켜, 하기 화학식 2로 표시되는 4족 전이금속 화합물을 제조하는 단계를 포함하는 4족 전이금속 화합물의 제조방법
6 6
하기 화학식 1로 표시되는 4족 전이금속 화합물을 포함하는 4족 전이금속함유 박막증착용 조성물: [화학식 1]상기 화학식 1에서,M은 4족 전이금속이고;R1 내지 R6은 서로 독립적으로 C1-C10알킬 또는 C3-C10시클로알킬이며;R11 내지 R15는 서로 독립적으로 수소 또는 C1-C10알킬이다
7 7
제 6항에 있어서,상기 화학식 1에서,M은 티타늄, 지르코늄 또는 하프늄이고;R1 내지 R6은 서로 독립적으로 C1-C7알킬이며;R11 내지 R15는 서로 독립적으로 수소 또는 C1-C7알킬인 4족 전이금속함유 박막증착용 조성물
8 8
제 7항에 있어서,상기 M은 지르코늄 또는 하프늄이고;R1 내지 R3은 서로 동일하게 C1-C4알킬이며;R4 내지 R6은 서로 동일하게 C1-C4알킬인 4족 전이금속함유 박막증착용 조성물
9 9
제 6항 내지 제 8항에서 선택되는 어느 한 항의 4족 전이금속함유 박막증착용 조성물을 이용하여 4족 전이금속함유 박막을 제조하는 단계를 포함하는 4족 전이금속함유 박막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국화학연구원 한국화학연구원연구운영비지원(R＆D)(주요사업비) IoT 디바이스용 스마트 화학 소재 개발
2 산업통상자원부 한솔케미칼전주공장 소재부품기술개발(R＆D) High-k/metal gate 공정용 박막내 carbon/halogen-free precursor 및 공정부품 개발