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자외선 파장 선택적 RGB 변환 필름 및 이를 이용한 자외선 이미지 센서

  • 기술번호 : KST2021005317
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 이미지 센서는, 기판; 상기 기판상에 배열된 복수개의 픽셀로 구성되는 자외선 파장 선택적 RGB 변환 필름; 및 상기 각각의 픽셀에 의해 변환된 가시광을 감지하여 전기적인 신호로 변환하기 위한 광센서부를 포함한다. 일 실시예에서, 각각의 픽셀은 상기 기판 상에 위치한 컬러필터; 상기 컬러필터 상에 위치한 광변환유닛; 및 상기 광변환유닛 상에 위치한 마이크로렌즈를 포함하고, 상기 각각의 픽셀은 특정 파장대역의 자외선을 선택적으로 흡수하여 특정 색상의 가시광을 방출한다. 실시예에 따르면, 자외선을 파장에 따라 선택적으로 RGB 가시광으로 변환하여 컬러로 표현할 수 있는 픽셀 어레이 필름이 제공되며, 기존의 CMOS 플랫폼과 호환 가능하므로 이를 이용하여 제작된 자외선 이미지 센서는 기존의 스마트 기기나 휴대용 카메라에 쉽게 적용될 수 있다.
Int. CL H01L 27/146 (2006.01.01)
CPC H01L 27/14605(2013.01) H01L 27/14625(2013.01) H01L 27/14621(2013.01) H01L 27/14683(2013.01)
출원번호/일자 1020190138389 (2019.11.01)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0052868 (2021.05.11) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.11.01)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고형덕 서울특별시 성북구
2 장호성 서울특별시 성북구
3 강구민 서울특별시 성북구
4 한일기 서울특별시 성북구
5 권석준 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-1120729-39
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.11.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0059351-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0264422-32
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번호 청구항
1 1
기판; 및 상기 기판상에 배열된 복수개의 픽셀로 구성되는 자외선 파장 선택적 RGB 변환 필름으로서, 각각의 픽셀은,상기 기판 상에 위치한 컬러필터;상기 컬러필터 상에 위치한 광변환유닛; 및상기 광변환유닛 상에 위치한 마이크로렌즈를 포함하고,상기 각각의 픽셀은 특정 파장대역의 자외선을 선택적으로 흡수하여 특정 색상의 가시광을 방출하는 것을 특징으로 하는, 자외선 파장 선택적 RGB 변환 필름
2 2
제1항에 있어서,상기 각각의 픽셀은, 서로 다른 파장대역의 자외선을 각각에 대응되는 서로 다른 파장대역의 가시광으로 변환하는 것을 특징으로 하는, 자외선 파장 선택적 RGB 변환 필름
3 3
제2항에 있어서,상기 각각의 픽셀은, 315 내지 400 nm의 파장대역을 갖는 자외선A를 청색 가시광으로 변환하거나, 280 내지 315 nm의 파장대역을 갖는 자외선B를 녹색 가시광으로 변환하거나, 100 내지 280 nm의 파장대역을 갖는 자외선C를 적색 가시광으로 변환하는 것을 특징으로 하는, 자외선 파장 선택적 RGB 변환 필름
4 4
제1항에 있어서,상기 광변환유닛은, 나노형광체, 양자점, 또는 단일벽 탄소나노튜브로 이루어진 광변환물질을 포함하는 것을 특징으로 하는, 자외선 파장 선택적 RGB 변환 필름
5 5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 자외선 파장 선택적 RGB 변환 필름을 구비하고,상기 각각의 픽셀에 의해 변환된 가시광을 감지하여 전기적인 신호로 변환하기 위한 광센서부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는, 자외선 이미지 센서
6 6
기판을 제공하는 단계;상기 기판 상에 제1 홀(hole)을 형성하는 단계;상기 제1 홀 내에 제1 픽셀을 형성하는 단계;상기 기판 상에 상기 제1 홀과 이격된 위치에 제2 홀을 형성하는 단계;상기 제2 홀 내에 제2 픽셀을 형성하는 단계;상기 기판 상에 상기 제1 홀 및 제2 홀과 이격된 위치에 제3 홀을 형성하는 단계; 및상기 제3 홀 내에 제3 픽셀을 형성하는 단계를 포함하는, 자외선 파장 선택적 RGB 변환 필름의 제조방법
7 7
제6항에 있어서,상기 제1 내지 제3 픽셀 각각은, 컬러필터를 형성하는 단계;상기 컬러필터 상에 광변환유닛을 형성하는 단계; 및상기 광변환유닛 상에 마이크로렌즈를 형성하는 단계를 거쳐 형성되는 것을 특징으로 하는, 자외선 파장 선택적 RGB 변환 필름의 제조방법
8 8
제6항에 있어서,상기 픽셀들을 형성하는 단계와 상기 홀들을 형성하는 단계 사이에, 상기 기판을 패시베이션 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 자외선 파장 선택적 RGB 변환 필름의 제조방법
9 9
제6항에 있어서,상기 제1 내지 제3 홀은, 펨토초 레이저 가공 기법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는, 자외선 파장 선택적 RGB 변환 필름의 제조방법
10 10
제9항에 있어서,상기 제1 내지 제3홀 각각의 크기는, 수 마이크로미터인 것을 특징으로 하는, 자외선 파장 선택적 RGB 변환 필름의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국과학기술연구원 개인기초연구(과기정통부)(R&D) 플라즈모닉스 기반 비발광 에너지 전달 프로세스 제어 연구 및 근적외선 고감도 이미지 센서 응용 기술 개발
2 과학기술정보통신부 한국과학기술연구원 STEAM연구(R&D) 스펙트럼 제어 자외선 변환 컬러 이미징 기술 개발