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밀폐 공간을 형성할 수 있는 챔버;상기 챔버의 내부에 구비되고, 그 표면에 보정 대상인 온도 측정 웨이퍼 센서가 놓이는 플레이트;상기 플레이트 표면을 균일하게 가열하기 위한 메인 히터부;상기 플레이트 표면의 복수 지점에 각각 대응하여 구비되어, 그 지점에서의 온도를 측정하는 온도측정부; 및상기 각 온도측정부가 온도를 측정하는 상기 각 지점에 대응하여 구비되어, 그 지점을 국부적으로 가열하는 보조 히터부를 포함하는, 능동형 국부가열봉을 가진 웨이퍼 온도센서 보정기
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제 1 항에 있어서,상기 각 지점에 대응하는 온도측정부와 보조 히터부의 쌍은 일체화된 모듈 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는, 능동형 국부가열봉을 가진 웨이퍼 온도센서 보정기
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제 1 항에 있어서,상기 온도측정부는 일정 길이를 갖는 열전대 센서를 포함하고,상기 보조 히터부는,상기 열전대 센서의 측면을 감싸 절연시키는 절연 부재;상기 절연 부재의 외측면에 감기는 열선 형태의 히터;상기 열선을 감싸고, 상기 열선에서 발생하는 열을 전달하는 절연 재질의 열전달 부재; 및상기 열전달 부재를 감싸고, 상기 열전달 부재를 통해 전달되는 열을 상기 플레이트의 하부면에 전달하는 케이싱 부재를 포함하는, 능동형 국부가열봉을 가진 웨이퍼 온도센서 보정기
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제 3 항에 있어서,상기 열전대 센서에서 온도 측정 지점에 배치되는 말단부는 상기 케이싱 부재를 통과하여 상기 플레이트의 하부면에 접촉하는 것을 특징으로 하는, 능동형 국부가열봉을 가진 웨이퍼 온도센서 보정기
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제 3 항에 있어서,상기 열전대 센서에서 온도 측정 지점에 배치되는 말단부는 상기 케이싱 부재를 통과하여 일정 길이만큼 돌출되도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 능동형 국부가열봉을 가진 웨이퍼 온도센서 보정기
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6
제 5 항에 있어서,상기 플레이트의 하부면에는 상기 열전대 센서의 말단부가 삽입될 수 있는 홈이 형성된 것을 특징으로 하는, 능동형 국부가열봉을 가진 웨이퍼 온도센서 보정기
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제 1 항에 있어서,상기 메인 히터부는 동심원 형태의 서로 다른 반경을 갖는 둘 이상의 열선을 포함하여 이루어지고,상기 온도측정부와 보조 히터부의 쌍이 구비되는 각 지점은 상기 메인 히터부를 형성하는 각 열선의 사이에 설정되는 것을 특징으로 하는, 능동형 국부가열봉을 가진 웨이퍼 온도센서 보정기
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제 3 항에 있어서,상기 열전달 부재는 세라믹 소재로 구성되는 것을 특징으로 하는, 능동형 국부가열봉을 가진 웨이퍼 온도센서 보정기
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제 3 항에 있어서,상기 케이싱 부재는 SUS 소재, 또는 세라믹 소재로 구성되는 것을 특징으로 하는, 능동형 국부가열봉을 가진 웨이퍼 온도센서 보정기
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제 1 항에 있어서,상기 능동형 국부가열봉을 가진 웨이퍼 온도센서 보정기는 이동 가능한 것을 특징으로 하는, 능동형 국부가열봉을 가진 웨이퍼 온도센서 보정기
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