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전이금속 칼코게나이드 박막의 제조방법 및 이의 방법으로 제조된 전이금속 칼코게나이드 박막을 포함하는 포토 다이오드

  • 기술번호 : KST2021005327
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전이금속 칼코게나이드 박막의 제조방법 및 이의 방법으로 제조된 전이금속 칼코게나이드 박막을 포함하는 포토 다이오드에 관한 것으로, 상세하게는 스퍼터링 장치의 챔버 내에 전이금속 칼코게나이드를 포함하는 타겟을 형성하는 단계; 상기 챔버 내에 상기 타겟과 이격하도록 기판을 배치하는 단계; 상기 챔버 내에 불활성 가스 및 칼코겐 원소를 포함하는 반응성 가스를 주입하는 단계; 상기 타겟 및 상기 기판 사이에 플라즈마를 형성하여, 상기 기판상에 전이금속 칼코게나이드를 증착하는 단계; 및 상기 전이금속 칼코게나이드가 증착된 기판을 열처리하는 단계;를 포함하는 전이금속 칼코게나이드 박막의 제조방법 및 이의 방법으로 제조된 전이금속 칼코게나이드 박막을 포함하는 포토 다이오드에 관한 것이다.
Int. CL C23C 14/06 (2006.01.01) C23C 14/00 (2018.01.01) C23C 14/58 (2006.01.01) C23C 14/34 (2006.01.01) H01L 31/10 (2006.01.01) H01L 31/0392 (2006.01.01) H01L 31/032 (2006.01.01)
CPC C23C 14/0623(2013.01) C23C 14/0036(2013.01) C23C 14/5806(2013.01) C23C 14/34(2013.01) H01L 31/10(2013.01) H01L 31/0392(2013.01) H01L 31/0324(2013.01)
출원번호/일자 1020190139260 (2019.11.04)
출원인 충북대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0053538 (2021.05.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.11.04)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충북대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 서원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장혜연 대전광역시 대덕구
2 남재현 충청북도 청주시 서원구
3 김용훈 대전광역시 대덕구
4 조병진 충청북도 청주시 서원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인위더피플 대한민국 서울특별시 서대문구 경기대로 **, 진양빌딩 *층(충정로*가)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2019-1126199-70
2 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2019-1131917-74
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149268-82
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0201507-48
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2020.10.05 수리 (Accepted) 1-1-2020-1044065-84
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0910997-58
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2021-0074975-65
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.01.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0074985-11
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번호 청구항
1 1
스퍼터링 장치의 챔버 내에 전이금속 칼코게나이드를 포함하는 타겟을 형성하는 단계;상기 챔버 내에 상기 타겟과 이격하도록 기판을 배치하는 단계;상기 챔버 내에 불활성 가스 및 칼코겐 원소를 포함하는 반응성 가스를 주입하는 단계;상기 타겟 및 상기 기판 사이에 플라즈마를 형성하여, 상기 기판상에 전이금속 칼코게나이드를 증착하는 단계; 및상기 전이금속 칼코게나이드가 증착된 기판을 열처리하는 단계;를 포함하는 전이금속 칼코게나이드 박막의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 반응성 가스를 주입하는 단계는상기 칼코겐 원소를 포함하는 반응성 가스를 99
3 3
제 1 항에 있어서,상기 열처리하는 단계는 상기 챔버 내부에서 수행하는 것을 특징으로 하는전이금속 칼코게나이드 박막의 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 열처리는 650 내지 850℃에서 수행하는 것을 특징으로 하는전이금속 칼코게나이드 박막의 제조방법
5 5
기판;상기 기판의 일면에 배치되는 하부 전극;상기 기판의 타면에 배치되며, 제 1 항의 제조방법으로 제조된 전이금속 칼코게나이드 박막; 및상기 박막상에 배치되는 상부 전극;을 포함하는, 포토 다이오드
6 6
제 5 항에 있어서,상기 포토 다이오드는 가시광선을 검출하는 것을 특징으로 하는포토 다이오드
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국산업기술진흥원 충북대학교 산학협력단 국가클러스터 R&D 에너지 절감형 첨단 부품