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포켈스 셀을 이용하여 전압을 측정하는 장치에 있어서,인가되는 전계에 기반하여 입사되는 광의 굴절률을 변화시키는 포켈스 셀;입력되는 빔을 분기하는 적어도 하나의 비편광 빔 분배부;상기 적어도 하나의 비편광 빔 분배부로부터 분기되는 제1 빔을 편광하는 제1 편광판;상기 제1 편광판에 기반하여 편광된 광을 검출하는 제1 광 검출부;상기 적어도 하나의 비편광 빔 분배부로부터 분기되는 제2 빔을 타원 편광하여 출력하는 1/4 파장판;상기 타원 편광된 제2 빔을 편광하는 제2 편광판;상기 1/4 파장판과 제2 편광판에 기반하여 편광된 광을 검출하는 제2 광 검출부; 및상기 제1 광 검출부에서 결정되는 제1 광 세기와, 상기 제2 광 검출부에서 결정되는 제2 광 세기에 기반하여 전압을 측정하는 제어부를 포함하는 전압 측정 장치
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청구항 1에 있어서,상기 제어부는,상기 제1 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 제1 관계식과 상기 제2 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 제2 관계식을 결정하고,상기 제1 관계식과 상기 제2 관계식에 기반하여 전압을 측정하는 전압 측정 장치
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청구항 2에 있어서,상기 제어부는,상기 제1 광 세기와 상기 제2 광 세기에 기반하여 레이저 출력 변동(fluctuation)을 검출하고,상기 레이저 출력 변동에 따른 변동 값들 중에서, 상기 제1 관계식에 따른 광 세기와 상기 제2 관계식에 따른 광 세기에 대응되는 광의 세기를 결정하고,상기 결정된 광의 세기에 기반하여 포켈스 셀 전압을 결정하고,상기 포켈스 셀 전압에 기반하여 전압을 측정하는 전압 측정 장치
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청구항 2에 있어서,상기 제어부는,레이저의 편광 축과 상기 포켈스 셀의 편광 축에 관련된 정렬 오차를 결정하고,상기 정렬 오차를 고려하고 상기 제1 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 관계식과, 상기 정렬 오차를 고려하고 상기 제2 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 관계식에 기반하여 포켈스 셀 전압을 결정하고,상기 포켈스 셀 전압에 기반하여 전압을 측정하는 전압 측정 장치
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청구항 2에 있어서,상기 제어부는,상기 비편광 빔 분배부의 수직 편광 투과율과 수평 편광 투과율의 비율을 결정하고,상기 투과율의 비율을 고려하고 상기 제1 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 관계식과, 상기 투과율의 비율 고려하고 상기 제2 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 관계식 기반하여 포켈스 셀 전압을 결정하고,상기 포켈스 셀 전압에 기반하여 전압을 측정하는 전압 측정 장치
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청구항 4에 있어서,상기 제어부는,상기 비편광 빔 분배부에서 수직 편광의 투과율과 수평 편광의 투과율의 비율을 결정하고,상기 정렬 오차와 상기 투과율의 비율을 고려하고 상기 제1 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 관계식과, 상기 정렬 오차와 상기 투과율의 비율을 고려하고 상기 제2 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 관계식에 기반하여 포켈스 셀 전압을 결정하고,상기 포켈스 셀 전압에 기반하여 전압을 측정하는 전압 측정 장치
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청구항 6에 있어서,상기 제1 광 검출부는 복수 회에 걸쳐 제1 광 세기들을 측정하고,상기 제2 광 검출부는 복수 회에 걸쳐 제2 광 세기들을 측정하고,상기 정렬 오차와 상기 투과율의 비율은 상기 제1 광 세기들과 상기 제2 광 세기들의 통계 값에 기반하여 결정되는 전압 측정 장치
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8
청구항 2에 있어서,시간에 따라 전압이 변화되는 경우, 상기 제어부는 시간 추적 방식에 기반하여 상기 전압의 측정 범위를 포켈스 셀의 반파장 전압 범위보다 크도록 증가시키도록 제어하는 전압 측정 장치
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포켈스 셀을 통과한 광의 세기에 기반하여 전압을 측정하는 포켈스 셀 기반의 전압 측정 장치의 동작 방법에 있어서,제1 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 제1 관계식과 제2 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 제2 관계식을 결정하는 단계;상기 제1 관계식과 상기 제2 관계식에 기반하여 전압을 측정하는 단계를 포함하고,상기 제1 광의 세기는 상기 포켈스 셀을 통과한 광이 제1 편광판에 기반하여 편광되어 제1 광 검출부에서 검출되는 광의 세기를 지시하고,상기 제2 광의 세기는 상기 포켈스 셀을 통과한 광이 제2 편광판과 1/4 파장판에 기반하여 편광되어 제2 광 검출부에서 검출되는 광의 세기를 지시하는 전압 측정 방법
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청구항 9에 있어서,상기 전압을 측정하는 단계는,상기 제1 광 세기와 상기 제2 광 세기에 기반하여 레이저 출력 변동(fluctuation)을 검출하는 단계;상기 레이저 출력 변동에 따른 변동 값들 중에서, 상기 제1 관계식에 따른 광의 세기와 상기 제2 관계식에 따른 광의 세기에 대응되는 광의 세기를 결정하는 단계;상기 결정된 광의 세기에 기반하여 포켈스 셀 전압을 결정하는 단계;상기 포켈스 셀 전압에 기반하여 전압을 측정하는 단계를 포함하는 전압 측정 방법
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청구항 9에 있어서,상기 전압을 측정하는 단계는레이저의 편광 축과 상기 포켈스 셀의 편광 축에 관련된 정렬 오차를 결정하는 단계;상기 정렬 오차를 고려하고 상기 제1 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 관계식과, 상기 정렬 오차를 고려하고 상기 제2 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 관계식에 기반하여 포켈스 셀 전압을 결정하는 단계;상기 포켈스 셀 전압에 기반하여 전압을 측정하는 단계를 포함하는 전압 측정 방법
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청구항 9에 있어서,상기 전압을 측정하는 단계는,비편광 빔 분배부의 수직 편광 투과율과 수평 편광 투과율의 비율을 결정하는 단계;상기 투과율의 비율을 고려하고 상기 제1 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 관계식과, 상기 투과율의 비율을 고려하고 상기 제2 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 관계식 기반하여 포켈스 셀 전압을 결정하는 단계;상기 포켈스 셀 전압에 기반하여 전압을 측정하는 단계를 포함하는 전압 측정 방법
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청구항 11에 있어서,상기 전압을 측정하는 단계는,비편광 빔 분배부의 수직 편광 투과율과 수평 편광 투과율의 비율을 결정하는 단계;상기 정렬 오차와 상기 투과율의 비율을 고려하고 상기 제1 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 관계식과, 상기 정렬 오차와 상기 투과율의 비율을 고려하고 상기 제2 광 세기와 위상 변위의 관계를 지시하는 관계식에 기반하여 포켈스 셀 전압을 결정하는 단계;상기 포켈스 셀 전압에 기반하여 전압을 측정하는 단계를 포함하는 전압 측정 방법
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