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함몰형 신축전극 제조방법에 있어서,패턴부를 포함하는 스텐실을 준비하는 단계 및 함몰부를 포함하는 신축기판을 준비하는 단계와;상기 스텐실의 상기 패턴부와 상기 신축기판의 상기 함몰부를 얼라인하는 단계와;얼라인된 상기 패턴부 및 상기 함몰부에 페이스트를 프린팅하여 배선부를 형성하는 단계를 포함하며,상기 배선부는, 일단은 상기 함몰부에 배치되며, 타단은 상기 신축기판으로부터 외부로 돌출된 배선부를 포함하는 것을 특징으로 하는 함몰형 신축전극 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 신축기판은 투명한 폴리머 소재로 형성되며,상기 스텐실은 상기 신축기판보다 강도가 센 금속소재로 형성되는 것을 특징으로 하는 함몰형 신축전극 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 배선부의 선폭은 상기 함몰부의 선폭보다 1 내지 2㎛ 넓은 것을 특징으로 하는 함몰형 신축전극 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 패턴부를 포함하는 스텐실을 준비하는 단계는,크롬마스크를 준비하는 단계와;기판에 감광제를 도포하는 단계와;상기 크롬마스크를 이용하여 감광제 패턴을 형성하는 단계와;기판-금속층-감광제 패턴이 차례로 적층된 마스트몰드에 금속을 도금하여 스텐실을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 함몰형 신축전극 제조방법
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제 4항에 있어서,상기 스텐실을 형성하는 단계는,니켈을 전주도금(electroforming)하는 것을 특징으로 하는 함몰형 신축전극 제조방법
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제 4항에 있어서, 상기 크롬마스크의 선폭은 7 내지 25㎛이며,상기 스텐실의 높이는 20 내지 50㎛인 것을 특징으로 하는 함몰형 신축전극 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 신축기판을 준비하는 단계는,크롬마스크를 준비하는 단계와;기판에 감광제를 도포하는 단계와;상기 크롬마스크를 이용하여 감광제 패턴을 형성하는 단계와;기판-금속층-감광제 패턴이 차례로 적층된 마스트몰드에 폴리머를 경화시켜 신축기판을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 함몰형 신축전극 제조방법
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함몰형 신축전극에 있어서,내부에 함몰부가 형성된 신축기판과;일단은 상기 함몰부에 배치되며, 타단은 상기 신축기판으로부터 외부로 돌출된 배선부를 포함하는 것을 특징으로 하는 함몰형 신축전극
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