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기판을 수평방향으로 이송시키는 이송부; 및상기 이송부의 양측에 각각 배치되며, 기판 측단부에 수직한 방향으로 가스를 분사하여 원자층을 증착하는 원자층 증착헤드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 측단부 봉지용 원자층 증착 장치
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제1항에 있어서,상기 원자층 증착헤드는,상기 기판 측단부에 대향하는 일면에 구비되는 복수의 슬릿을 통해 복수의 가스를 분사하는 가스 노즐블럭; 및상기 가스 노즐블럭의 측면 상부 및 측면 하부로부터 상기 복수의 가스를 분사하는 방향으로 각각 돌출 형성되며, 상기 기판 상면 가장자리 및 기판 배면 가장자리에 에어커튼을 각각 형성하는 에어커튼 노즐블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 측단부 봉지용 원자층 증착 장치
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제2항에 있어서,상기 가스 노즐블럭은기판 이송방향을 따라 외부로부터의 복수의 가스가 주입되는 복수의 가스주입홀 및 외부로 복수의 가스를 배출하는 복수의 가스배출홀을 구비하는 탑레이어부;상기 탑레이어부의 측면에 구비되어, 상기 탑레이어부에서 분사된 가스가 기판의 이송방향을 따라 분산되도록 하는 미드레이어부;상기 탑레이어부 및 미드레이어부 사이에 구비되며, 상기 탑레이어부에서 분사되는 가스의 방향을 바꾸어 균일하게 분산되도록 하는 탑미드분산레이어부; 및상기 미드레이어부의 측면에 구비되어 가스가 기판 측단부의 폭방향으로 퍼지도록 하는 복수의 슬릿이 형성되는 바텀레이어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 측단부 봉지용 원자층 증착 장치
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제2항에 있어서,상기 에어커튼 노즐블럭은N2가 주입되는 커튼 주입홀이 형성된 제1 커튼 레이어부;N2를 기판의 상면 가장자리 또는 배면 가장자리에 에어커튼을 형성하는 제3 커튼 레이어부; 및 상기 제1 커튼 레이어부 및 상기 제3 커튼 레이어부 사이에 구비되어, 상기 커튼 주입홀로 주입되는 N2를 기판의 이송 방향을 따라 분산하여 상기 제3 커튼레이어부에 제공하는 커튼 분산경로를 구비하는 제2 커튼 레이어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 측단부 봉지용 원자층 증착 장치
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