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3D 형상 측정을 위한 편광 패턴 조사 현미경

  • 기술번호 : KST2021005482
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 편광 패턴 조사 현미경에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 분할된 편광된 광들을 이용하여 위상 천이된 간섭 패턴을 형성하고, 초점 가변 렌즈들을 이용하여 대물렌즈의 초점을 가변함으로써 패턴이나 시편의 물리적 움직임 없이도 시편의 3D 형상을 빠르게 측정할 수 있는 편광 패턴 조사 현미경에 관한 것이다.
Int. CL G02B 21/00 (2006.01.01) G02B 21/36 (2006.01.01) G02B 5/30 (2006.01.01) G02B 5/04 (2006.01.01) G02B 27/10 (2006.01.01)
CPC G02B 21/0092(2013.01) G02B 21/361(2013.01) G02B 5/30(2013.01) G02B 5/045(2013.01) G02B 27/10(2013.01)
출원번호/일자 1020190174834 (2019.12.26)
출원인 조선대학교산학협력단, 박효미, 권의혁, 정효빈
등록번호/일자 10-2252427-0000 (2021.05.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20210514) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.12.26)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구
2 박효미 대한민국 광주광역시 남구
3 권의혁 대한민국 광주광역시 북구 군
4 정효빈 대한민국 광주광역시 동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주기남 광주광역시 광산구
2 박효미 대한민국 대전광역시 유성구
3 권의혁 대한민국 광주광역시 동구
4 정효빈 대한민국 광주광역시 광산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 광주광역시 동구
2 박효미 광주광역시 남구
3 권의혁 광주광역시 북구 군
4 정효빈 광주광역시 동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2019-1339692-18
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.01.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5002323-48
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5071333-01
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2020-5073213-77
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5075798-00
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5088703-88
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.11.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0022653-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2021.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2021-5050137-56
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.02.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0129069-39
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.04.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0385495-67
12 등록결정서
Decision to grant
2021.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0340381-19
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번호 청구항
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광원;상기 광원에서 출력되는 광을 선형 편광 시키는 편광기;상기 선형 편광된 광을 수평 편광된 광과 수직 편광된 광으로 나누어 출력하는 편광 프리즘;상기 수평 편광된 광과 상기 수직 편광된 광을 합쳐 출력하며 초점 거리를 가변할 수 있는 제1 초점 가변 렌즈;상기 제1 초점 가변 렌즈에서 출력되는 편광된 광들을 반사시켜 시편에 조사하고 시편에서 반사되어 다시 입력되는 편광된 광들은 투과시키는 광 분할기;상기 광 분할기를 투과한 편광된 광들의 초점 거리를 가변하며 출력하는 제2 초점 가변 렌즈;상기 제2 초점 가변 렌즈에서 출력된 편광된 광들을 위상 지연을 이용하여 원형 편광된 광들로 출력하는 위상 지연판; 및상기 원형 편광된 광들을 수광하되 0도, 45도, 90도 및 135도로 천이된 패턴 영상을 검출하는 편광 카메라;를 포함하고,상기 편광 카메라에서 검출된 각 픽셀별 패턴의 가시도 값을 계산하여 상기 시편의 3D 형상을 측정하고,상기 편광기는 상기 광원에서 출력되는 광을 45도 선형 편광 시키며,상기 편광 카메라는 0도, 45도, 90도 및 135도의 투과축을 갖는 미세 편광기 배열이 위치한 네 개의 픽셀이 하나의 단위 셀을 이루고,상기 각 픽셀별 패턴의 광 강도는 아래의 수학식 1을 통해 계산되고, 상기 단위 셀의 가시도 값은 아래의 수학식 2를 통해 계산되는 것을 특징으로 하는 편광 패턴 조사 현미경
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