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반도체 CMP 슬러리용 실리카 나노졸의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 실리카 나노졸

  • 기술번호 : KST2021005536
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 CMP 슬러리용 실리카 나노졸의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 실리카 나노졸에 관한 것이다. 이러한 본 발명에 따르면, 정제과정을 거친 알콕시실란을 사용하고 용매 및 촉매의 혼합량 제어를 통해 구형 실리카 나노입자를 포함하는 구상 실리카 나노졸의 입도, 형상 및 수율을 제어할 수 있음과 동시에, 이러한 구상 실리카 나노졸을 이용하여 구형 실리카 나노입자들이 응집된 형태의 비구형 실리카 나노입자를 포함하는 비구상 실리카 나노졸로도 제조할 수 있으므로, 반도체 CMP 슬러리용 연마소재로 적용이 가능하다.
Int. CL C09G 1/02 (2006.01.01) C09K 3/14 (2006.01.01) C08K 3/36 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC C09G 1/02(2013.01) C09K 3/1454(2013.01) C08K 3/36(2013.01) B82Y 40/00(2013.01)
출원번호/일자 1020190141414 (2019.11.07)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0055214 (2021.05.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.09.01)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강동준 경상남도 창원시 성산구
2 임현균 경상남도 창원시 성산구
3 강민정 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-1141764-64
2 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
 2020.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2020-0923290-45
3 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
 2020.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2020-0923016-52
4 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2020.09.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2020.09.09 수리 (Accepted) 9-1-2020-0027653-07
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.10.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0705645-49
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.12.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1335208-64
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2020-1335247-34
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.12.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5288766-89
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2021.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0155975-34
11 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
 2021.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2021-0474820-79
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2021.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2021-0504490-43
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2021.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2021-0504526-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
알콕시실란에, 물과 알코올을 포함하는 용매 및 촉매를 혼합하여 반응시켜 복수의 구형 실리카 나노입자를 포함하는 구상 실리카 나노졸을 형성하는 단계; 및상기 구상 실리카 나노졸을 표면개질, 용매교체 및 농축하는 단계;를 포함하여 이루어지고,상기 구상 실리카 나노졸은,상기 물 또는 상기 촉매의 혼합량 제어를 통해 상기 구형 실리카 나노입자의 입도 및 표면이 제어됨과 동시에 수율이 제어되어 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 CMP 슬러리용 실리카 나노졸의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 구상 실리카 나노졸에 물과 알코올을 포함하는 반응용매 및 반응촉매 중 어느 하나 이상을 첨가하여 상기 복수의 구형 실리카 나노입자가 응집되면서 형성되는 비구형 실리카 나노입자를 포함하는 비구상 실리카 나노졸을 형성하는 단계; 및상기 비구상 실리카 나노졸을 표면개질, 용매교체 및 농축하는 단계;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 CMP 슬러리용 실리카 나노졸의 제조방법
3 3
제2항에 있어서,상기 비구상 실리카 나노졸을 형성하는 단계에서는,상기 반응촉매의 촉매작용에 의해 서로 인접한 상기 구형 실리카 나노입자들이 응집되면서 종횡비(aspect ratio)가 증가되어 상기 비구형 실리카 나노입자를 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 CMP 슬러리용 실리카 나노졸의 제조방법
4 4
제2항에 있어서,상기 비구형 실리카 나노입자는,하기 관계식 1을 만족하는 것을 특징으로 하는 반도체 CMP 슬러리용 실리카 나노졸의 제조방법
5 5
제2항에 있어서,상기 비구형 실리카 나노입자는,상기 복수의 구형 실리카 나노입자가 랜덤 방향으로 응집되면서 연장 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 CMP 슬러리용 실리카 나노졸의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 구상 실리카 나노졸은,상기 알콕시실란 1중량부를 기준으로 상기 물 0
7 7
제1항에 있어서,상기 구상 실리카 나노졸은,상기 알콕시실란 1중량부를 기준으로 상기 물 0
8 8
제1항에 있어서,상기 구상 실리카 나노졸을 형성하는 단계에서는,상기 알콕시실란이 4개 알콕시 반응기를 갖는 실란 95~99
9 9
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 반도체 CMP 슬러리용 실리카 나노졸
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국전기연구원 나노기반 전기소재·부품 기술개발 스마트윈도우용 투명 encapsulation 절연소재 개발