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부성 트랜스컨덕턴스 소자 및 이를 이용한 다치 인버터 논리 소자

  • 기술번호 : KST2021005734
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 부성 트랜스컨덕턴스 소자가 개시된다. 부성 트랜스컨덕턴스 소자는 P형 반도체 채널을 구비하는 제1 트랜지스터, N형 반도체 채널을 구비하는 제2 트랜지스터 및 양극성(ambipolar) 반도체 채널을 구비하고 제1 및 제2 트랜지스터 사이에 위치하는 제3 트랜지스터를 포함하고, 제1 트랜지스터의 제1 드레인 전극은 제3 트랜지스터의 제3 소스 전극과 그리고 제3 트랜지스터의 드레인 전극은 제2 트랜지스터의 제2 소스 전극과 전기적으로 연결된다.
Int. CL H01L 47/00 (2006.01.01) H01L 27/26 (2006.01.01) H01L 27/092 (2006.01.01)
CPC H01L 47/005(2013.01) H01L 27/26(2013.01) H01L 27/0924(2013.01) H01L 27/0928(2013.01)
출원번호/일자 1020190143104 (2019.11.11)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0056525 (2021.05.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.11.11)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이성주 경기도 성남시 분당구
2 조정호 서울특별시 강남구
3 전재호 경기도 부천시 경인로**번길
4 손현제 경기도 수원시 장안구
5 최해주 경기도 수원시 장안구
6 김민제 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2019-1151625-16
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0030255-16
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0162542-43
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2021-0465132-64
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번호 청구항
1 1
P형 반도체 채널, 상기 P형 반도체 채널과 연결되고 서로 이격된 제1 소스 전극과 제1 드레인 전극, 그리고 상기 P형 반도체 채널에 게이트 전압을 인가하는 제1 게이트 전극을 구비하는 제1 트랜지스터; N형 반도체 채널, 상기 N형 반도체 채널과 연결되고 서로 이격된 제2 소스 전극과 제2 드레인 전극, 그리고 상기 N형 반도체 채널에 게이트 전압을 인가하는 제2 게이트 전극을 구비하는 제2 트랜지스터; 및 양극성(ambipolar) 반도체 채널, 상기 양극성 반도체 채널과 연결되고 서로 이격된 제3 소스 전극과 제3 드레인 전극, 그리고 상기 양극성 반도체 채널에 게이트 전압을 인가하는 제3 게이트 전극을 구비하고, 상기 제1 트랜지스터와 상기 제2 트랜지스터 사이에 배치된 제3 트랜지스터를 포함하고,상기 제1 드레인 전극은 상기 제3 소스 전극과 전기적으로 연결되고, 상기 제3 드레인 전극은 상기 제2 소스 전극과 전기적으로 연결되고,상기 제1 내지 제3 게이트 전극은 서로 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는, 부성 트랜스컨덕턴스 소자
2 2
제1항에 있어서,상기 P형 반도체 채널은 텅스텐셀레나이드(WSe2), 블랙포스포러스(BP) 또는 레튬셀레나이드(ReSe2)로 형성되고,상기 N형 반도체 채널은 몰리브덴설파이드(MoS2), 레늄설파이드(ReS2) 또는 몰리브덴셀레나이드(MoSe2)로 형성되며,상기 양극성 반도체 채널은 몰리브덴텔루라이드(MoTe2) 또는 텅스텐설파이드(WS2)로 형성된 것을 특징으로 하는, 부성 트랜스컨덕턴스 소자
3 3
제1항에 있어서,상기 제1 내제 제3 게이트 전극은 상기 P형 반도체 채널, 상기 N형 반도체 채널 및 상기 양극성 반도체 채널과 중첩하는 영역을 갖는 단일 전극 형태를 갖는 것을 특징으로 하는, 부성 트랜스컨덕턴스 소자
4 4
제1항에 있어서,표면에 절연막이 형성되고, 상기 제1 내지 제3 트랜지스터를 지지하고 상기 제1 내지 제3 게이트 전극으로 기능하는 반도체 기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 부성 트랜스컨덕턴스 소자
5 5
제1항에 있어서,상기 제1 드레인 전극과 상기 제3 소스 전극은 일체의 단일 전극 형태로 형성되고, 상기 제3 드레인 전극과 상기 제2 소스 전극은 일체의 단일 전극 형태로 형성된 것을 특징으로 하는, 부성 트랜스컨덕턴스 소자
6 6
P형 반도체 채널, 상기 P형 반도체 채널과 연결되고 서로 이격된 제1 소스 전극과 제1 드레인 전극, 그리고 상기 P형 반도체 채널에 게이트 전압을 인가하는 제1 게이트 전극을 구비하는 제1 트랜지스터; N형 반도체 채널, 상기 N형 반도체 채널과 연결되고 서로 이격된 제2 소스 전극과 제2 드레인 전극, 그리고 상기 N형 반도체 채널에 게이트 전압을 인가하는 제2 게이트 전극을 구비하는 제2 트랜지스터; 양극성(ambipolar) 반도체 채널, 상기 양극성 반도체 채널과 연결되고 서로 이격된 제3 소스 전극과 제3 드레인 전극, 그리고 상기 양극성 반도체 채널에 게이트 전압을 인가하는 제3 게이트 전극을 구비하고, 상기 제1 트랜지스터와 상기 제2 트랜지스터 사이에 배치된 제3 트랜지스터; 및 상기 제3 소스 전극과 제3 드레인 전극 사이에 위치하는 상기 양극성 반도체 채널 영역과 접촉하는 출력전극을 포함하고,상기 제1 드레인 전극은 상기 제3 소스 전극과 전기적으로 연결되고, 상기 제3 드레인 전극은 상기 제2 소스 전극과 전기적으로 연결되고,상기 제1 내지 제3 게이트 전극은 서로 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는, 다치 인버터 논리 소자
7 7
제6항에 있어서,상기 P형 반도체 채널은 텅스텐셀레나이드(WSe2), 블랙포스포러스(BP) 또는 레튬셀레나이드(ReSe2)로 형성되고,상기 N형 반도체 채널은 몰리브덴설파이드(MoS2), 레늄설파이드(ReS2) 또는 몰리브덴셀레나이드(MoSe2)로 형성되며,상기 양극성 반도체 채널은 몰리브덴텔루라이드(MoTe2) 또는 텅스텐설파이드(WS2)로 형성된 것을 특징으로 하는, 다치 인버터 논리 소자
8 8
제6항에 있어서,상기 제1 내제 제3 게이트 전극은 상기 P형 반도체 채널, 상기 N형 반도체 채널 및 상기 양극성 반도체 채널과 중첩하는 영역을 갖는 단일 전극 형태를 갖는 것을 특징으로 하는, 다치 인버터 논리 소자
9 9
제6항에 있어서,표면에 절연막이 형성되고, 상기 제1 내지 제3 트랜지스터를 지지하고 상기 제1 내지 제3 게이트 전극으로 기능하는 반도체 기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 다치 인버터 논리 소자
10 10
제6항에 있어서,상기 제1 드레인 전극과 상기 제3 소스 전극은 일체의 단일 전극 형태로 형성되고, 상기 제3 드레인 전극과 상기 제2 소스 전극은 일체의 단일 전극 형태로 형성된 것을 특징으로 하는, 다치 인버터 논리 소자
11 11
P형 반도체 채널, 상기 P형 반도체 채널과 연결되고 서로 이격된 제1 소스 전극과 제1 드레인 전극, 그리고 상기 P형 반도체 채널에 게이트 전압을 인가하는 제1 게이트 전극을 구비하는 제1 트랜지스터; N형 반도체 채널, 상기 N형 반도체 채널과 연결되고 서로 이격된 제2 소스 전극과 제2 드레인 전극, 그리고 상기 N형 반도체 채널에 게이트 전압을 인가하는 제2 게이트 전극을 구비하는 제2 트랜지스터; 양극성(ambipolar) 반도체 채널, 상기 양극성 반도체 채널과 연결되고 서로 이격된 제3 소스 전극과 제3 드레인 전극, 그리고 상기 양극성 반도체 채널에 게이트 전압을 인가하는 제3 게이트 전극을 구비하고, 상기 제1 트랜지스터와 상기 제2 트랜지스터 사이에 배치된 제3 트랜지스터; 상기 제3 소스 전극과 제3 드레인 전극 사이에 위치하는 상기 양극성 반도체 채널 영역과 접촉하는 출력전극; 및 상기 양극성 반도체 채널의 상부면 중 상기 N형 반도체 채널에 인접한 제1 영역 상에 배치된 전자 공여성 코팅층을 포함하고,상기 제1 드레인 전극은 상기 제3 소스 전극과 전기적으로 연결되고, 상기 제3 드레인 전극은 상기 제2 소스 전극과 전기적으로 연결되고,상기 제1 내지 제3 게이트 전극은 서로 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는, 다치 인버터 논리 소자
12 12
제11항에 있어서,상기 출력전극은 상기 양극성 반도체 채널의 상부면 상에서 연장되어 상기 양극성 반도체 채널의 상부면을 상기 N형 반도체 채널에 인접한 상기 제1 영역과 상기 P형 반도체 채널과 인접한 제2 영역으로 분할하는 것을 특징으로 하는, 다치 인버터 논리 소자
13 13
제11항에 있어서,상기 전자 공여성 코팅층은 가교된 PMMA(polymethyl methacrylate), 산화알루미늄(Al2O3) 또는 산화마그네슘(MgO)로 형성된 것을 특징으로 하는, 다치 인버터 논리 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 성균관대학교(자연과학캠퍼스) 신소자집적·검증기술 BEOL Via 집적형 신소자 공정플랫폼 및 응용소자 개발
2 교육부 성균관대학교 개인기초연구(교육부)(R&D) 이차원 나노융복합소재를 이용한 신기능성 차세대 ICT 정보처리소자 개발
3 과학기술정보통신부 성균관대학교(자연과학캠퍼스) 집단연구지원(R&D) 비선형 부성저항 특성 기반 한계극복 ICT정보처리 소자 개발