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폴리디메틸실록산(이하 'PDMS'라고 함, polydimethylsiloxane)을 이용하여 표면을 패턴화시킨 PDMS 몰드를 제조하는 단계;PDMS를 도포한 태양전지 셀 표면에 상기 PDMS 몰드로 스탬핑하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 비반사 코팅기술을 통한 저광량 고효율 실리콘 태양전지 제조방법
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제1항에 있어서,상기 PDMS 몰드를 제조하는 단계는, 도포된 PDMS에 UV 오존으로 10 ~ 20분 표면처리하여 물결진 패턴을 형성하는 1차 몰드 형성 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 비반사 코팅기술을 통한 저광량 고효율 실리콘 태양전지 제조방법
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제2항에 있어서,상기 PDMS 몰드를 제조하는 단계는, 상기 1차 몰드 형성 단계 후, 진공 분위기에서 실란(silane) 표면 처리를 통해 범프(bump)를 형성하는 2차 몰드 형성 단계;를포함하는 것을 특징으로 하는 비반사 코팅기술을 통한 저광량 고효율 실리콘 태양전지 제조방법
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제3항에 있어서,상기 실란은 Trichloro (1H,1H,2H,2H-perfluorooctyl) silane 농도 0
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제4항에 있어서상기 PDMS 몰드로 스탬핑하는 단계는PDMS를 도포한 태양전지 셀 표면에 상기 제작된 1차 몰드 또는 2차 몰드를 스탬핑시키거나
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