| 1 |
1
질량 유량계를 이용하여 측정 대상 가스의 농도를 조절하고 측정 시험부에 제공하는 단계; 상기 측정 대상 가스가 흐르는 상기 측정 시험부의 필터에 다이오드 레이저를 이용하여 광 신호를 송신하는 단계; 상기 다이오드 레이저에서 발생된 광 신호를 획득하는 단계; 획득된 상기 광 신호의 광 스펙트럼의 변화로부터 흡수 신호를 분해하는 단계; 상기 필터의 전후의 가스 유동이 있는 상황에서 캘리브레이션(calibration) 시험을 통해 각 농도별 흡수 신호의 세기를 기록하는 단계; 및 상기 각 농도별 흡수 신호의 세기를 기록하여 획득된 흡수 스펙트럼의 변화로부터 상기 필터의 전후의 상기 측정 대상 가스의 농도를 추정하는 단계를 포함하고, 상기 측정 대상 가스가 흐르는 측정 시험부의 필터에 다이오드 레이저를 이용하여 광 신호를 송신하는 단계는, 하나의 다이오드 레이저로부터 송신되는 상기 광 신호를 동일한 세기로 분배하여 상기 필터의 전후에 송신하여 상기 필터의 전후 지점에 대한 농도 계측에 활용하며, 상기 필터의 전후의 가스 유동이 있는 상황에서 캘리브레이션 시험을 통해 각 농도별 흡수 신호의 세기를 기록하는 단계는, 상기 측정 대상 가스의 농도를 ppm별로 나누어 상기 캘리브레이션 시험을 수행하여 각 농도별 흡수 신호의 세기를 기록하고, 상기 필터의 전후로 TDLAS를 복수로 구성하여, 상기 측정 대상 가스의 농도 정보를 상대 비교하는 것을 특징으로 하는, 필터 성능 분석 방법
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 광 신호의 송수신을 위해 상기 측정 시험부의 필터의 전후에 각각 콜리메이터(collimator) 및 검출기(detector) 세트를 설치하는 단계를 더 포함하는, 필터 성능 분석 방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 측정 대상 가스가 흐르는 측정 시험부의 필터에 다이오드 레이저를 이용하여 광 신호를 송신하는 단계는, 하나의 DFB 다이오드 레이저로부터 송신되는 상기 광 신호를 복수 개로 분배하는 것을 특징으로 하는, 필터 성능 분석 방법
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 광 신호의 광학 스펙트럼의 변화로부터 흡수 신호를 분해하는 단계는, Lambert-Beer 법칙을 활용하여 일반 공기를 제공하였을 때를 기준 신호로 두고, 측정 대상 가스의 유입이 이루어졌을 때를 측정 대상 신호로 두어 상대 비교하여 계측하는 것을 특징으로 하는, 필터 성능 분석 방법
|
| 7 |
7
삭제
|
| 8 |
8
삭제
|
| 9 |
9
측정 대상 가스의 농도를 조절하고 측정 시험부에 제공하는 질량 유량계; 상기 측정 대상 가스가 흐르는 상기 측정 시험부의 필터에 다이오드 레이저를 이용하여 광 신호를 송신하는 광 송신부; 상기 다이오드 레이저에서 발생된 광 신호를 획득하는 광 수신부; 획득된 상기 광 신호의 광 스펙트럼의 변화로부터 흡수 신호를 분해하는 흡수 신호 분해부; 상기 필터의 전후의 가스 유동이 있는 상황에서 캘리브레이션(calibration) 시험을 통해 각 농도별 흡수 신호의 세기를 기록하는 캘리브레이션 시험부; 및 상기 각 농도별 흡수 신호의 세기를 기록하여 획득된 흡수 스펙트럼의 변화로부터 상기 필터의 전후의 상기 측정 대상 가스의 농도를 추정하는 농도 추정부를 포함하고,상기 광 송신부는, 하나의 다이오드 레이저로부터 송신되는 상기 광 신호를 동일한 세기로 분배하여 상기 필터의 전후에 송신하여 상기 필터의 전후 지점에 대한 농도 계측에 활용하며, 상기 캘리브레이션 시험부는, 상기 측정 대상 가스의 농도를 ppm별로 나누어 상기 캘리브레이션 시험을 수행하여 각 농도별 흡수 신호의 세기를 기록하고, 상기 필터의 전후로 TDLAS를 복수로 구성하여, 상기 측정 대상 가스의 농도 정보를 상대 비교하는 것을 특징으로 하는, 필터 성능 분석 장치
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
제9항에 있어서, 상기 광 송신부는, 상기 측정 시험부의 필터에 설치되는 콜리메이터(collimator)를 포함하고, 상기 광 수신부는, 상기 측정 시험부의 필터에 설치되는 검출기(detector)를 포함하며, 상기 콜리메이터(collimator) 및 상기 검출기(detector)는 하나의 세트로 구성되어, 상기 측정 시험부의 필터의 전후에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는, 필터 성능 분석 장치
|
| 12 |
12
제9항에 있어서,상기 광 송신부는, 하나의 DFB 다이오드 레이저로부터 송신되는 상기 광 신호를 복수 개로 분배하는 것을 특징으로 하는, 필터 성능 분석 장치
|
| 13 |
13
삭제
|
| 14 |
14
제9항에 있어서,상기 흡수 신호 분해부는, Lambert-Beer 법칙을 활용하여 일반 공기를 제공하였을 때를 기준 신호로 두고, 측정 대상 가스의 유입이 이루어졌을 때를 측정 대상 신호로 두어 상대 비교하여 계측하는 것을 특징으로 하는, 필터 성능 분석 장치
|
| 15 |
15
삭제
|
