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펠티어 소자가 개재되어 일측은 저온을 유지하는 측정부, 타측은 고온을 유지하는 형성하는 방열부를 포함하며, 상기 측정부가 일정한 온도를 유지하도록 상기 방열부와 접촉하도록 결합하여 상기 방열부의 열을 흡열하는 히트 싱크에 있어서,상기 펠티어 소자, 상기 측정부, 및 상기 방열부를 포함하는 센서;소정 높이를 가지는 판 형태의 본체;상기 본체에 통공 형태로 적어도 하나 이상 형성되며, 상기 센서가 끼움 결합하는 센서 결합공; 및상기 본체의 상면에 설치되되, 높이 방향으로 연장되어 설치되며, 냉각수단이 이동 가능하도록 형성되는 유로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 히트 싱크
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제1항에 있어서, 상기 유로는,원통 형태로 형성되며,상기 유로의 중심에 형성되어 냉각수단이 유입되어 상기 본체로 냉각 수단이 이동할 수 있도록 형성되는 유입 유로,상기 유입 유로의 외벽 둘레면을 따라 도넛 형태로 형성되며, 상기 본체에 공급된 냉각수가 외부로 배출되도록 하는 배출 유로를 포함하는 것을 특징으로 하는 히트 싱크
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제2항에 있어서, 상기 본체는,내부 공간이 형성되며, 상기 유입 유로와 연결되어 냉각수단을 공급받는 유입 유로 연결부,상기 배출 유로와 연결되어 냉각수단을 상기 배출 유로로 냉각수단이 이동하도록 하는 배출 유로 연결부 및일측은 상기 유입 유로 연결부와 연결되고, 타측은 상기 배출 유로 연결부와 연결되되, 상기 본체의 둘레 방향을 따라 형성되는 순환 유로를 포함하며,상기 냉각수단은,상기 유입 유로로 공급되어 상기 순환 유로를 따라 이동하여 상기 본체의 열을 흡열한 후 상기 배출 유로를 따라 이동하여 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 히트 싱크
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제3항에 있어서, 상기 냉각수단은,냉각수나 상온의 질소 중 선택되는 것을 특징으로 하는 히트 싱크
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제1항에 있어서, 상기 히트 싱크는,상기 유로의 외면을 감싸는 형태로 설치되어, 베이크 아웃 시험을 수행하는 챔버에 상기 히트 싱크가 고정되도록 하는 챔버 고정부; 및상기 챔버 고정부와 상기 유로 사이에 적어도 하나 이상 삽입되어 상기 챔버 고정부와 상기 유로 사이 공간이 진공으로 형성되도록 패킹하는 링 형태의 오링;을 포함하는 것을 특징으로 하는 히트 싱크
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제5항에 있어서, 상기 히트 싱크는,상기 유로가 상기 챔버 고정부에 대해 상하 방향으로 이동 가능하도록 설치되어 상기 본체의 높이 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 히트 싱크
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제1항에 있어서, 상기 본체는,상기 본체의 상면, 하면, 측면에 설치되어 상기 본체와 외부의 열 교환을 차단하는 열 차단부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히트 싱크
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제1항에 있어서, 상기 본체는,상기 방열부와 접촉하는 면에 요철부가 형성되는 것을 특징으로 하는 히트 싱크
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