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베이스층;상기 베이스층의 일면에 배치되며, 제1 방향을 따라 위로 볼록한 볼록부와 아래로 오목한 오목부가 연속적으로 배치되는 압전층; 및상기 압전층의 상기 오목부와 상기 베이스층의 일면에 배치되어, 상기 압전층을 상기 베이스층과 연결하는 접촉부재;를 포함하는, 압전소자
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제1 항에 있어서,상기 압전층은상기 베이스층에 인접하게 배치되며, 서로 이격되게 배치되는 제1a 전극단과 제1b 전극단을 가지는 제1 전극;일부가 상기 제1a 전극단과 중첩되는 제2a 전극단과, 일부가 상기 제1b 전극단과 중첩되는 제2b 전극단을 가지는 제2 전극; 및상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치되는 압전체;를 구비하는, 압전소자
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제2 항에 있어서,상기 제1 전극은상기 제1a 전극단이 상기 볼록부에 대응되는 영역에 배치되며, 상기 제1a 전극단의 양측에 상기 제1b 전극단이 배치되는, 압전소자
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제3 항에 있어서,상기 제1a 전극단의 면적은 하나의 상기 제1b 전극단의 면적보다 큰, 압전소자
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5
제2 항에 있어서,상기 제2 전극은상기 제2a 전극단이 상기 볼록부에 대응되는 영역에 배치되며, 상기 제2a 전극단의 양측에 상기 제2b 전극단이 배치되는, 압전소자
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6
제5 항에 있어서,상기 제2a 전극단의 면적은 하나의 상기 제2b 전극단의 면적보다 큰, 압전소자
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7
제2 항에 있어서,상기 제1a 전극단과 상기 제1b 전극단 사이의 간격은 상기 제2a 전극단과 상기 제2b 전극단 사이의 간격보다 작은, 압전소자
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8
제2 항에 있어서,상기 제1a 전극단의 곡률이 상기 제1b 전극단의 곡률보다 크며,상기 제2a 전극단의 곡률이 상기 제2b 전극단의 곡률보다 큰, 압전소자
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9
제2 항에 있어서,상기 압전층은 상기 접촉부재에 대응되는 영역에는 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극이 배치되지 않는, 압전소자
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10
제2 항에 있어서,상기 압전소자는상기 압전소자의 적어도 일부를 커버하며, 내부에 유체가 봉입되는 커버부재;를 더 포함하는, 압전소자
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11
제1 항에 있어서,상기 압전층은 상기 제1 방향으로 배치되는 제1 압전층; 및상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 배치되며, 볼록부가 상기 제1 압전층의 오목부에서 교차되는 제2 압전층;을 가지는, 압전소자
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12
제11 항에 있어서,상기 압전소자는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향 중 적어도 하나의 방향으로 신장 및 수축 가능한, 압전소자
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13
제11 항에 있어서,상기 접촉부재는 상기 제1 압전층의 오목부와 상기 제2 압전층의 오목부를 상기 베이스층에 고정하는, 압전소자
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14
제1 전극, 제2 전극 및 압전체를 가지는 압전층을 형성하는 단계;상기 압전층의 기 설정된 위치에 접촉부재를 배치하는 단계;상기 접촉부재를 베이스층에 부착하는 단계; 및상기 압전층에 굴곡을 형성하는 단계;를 포함하는, 압전소자 제조방법
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15
제14 항에 있어서,상기 압전층에 굴곡을 형성하는 단계 전에 상기 베이스층에 인장력을 인가하는 단계를 더 포함하고,상기 압전층에 굴곡을 형성하는 단계는상기 베이스층의 일면에 상기 접촉부재를 부착하여, 상기 압전층을 상기 베이스층에 연결하는 단계; 및상기 베이스층에 인가된 상기 인장력을 제거하여 상기 압전층에 굴곡을 형성하는 단계;를 구비하는, 압전소자 제조방법
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16
제15 항에 있어서,상기 압전층에 굴곡을 형성하는 단계는상기 압전층에서 상기 접촉부재 사이의 영역을 위로 볼록하게 형성하는, 압전소자 제조방법
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17
제15 항에 있어서,상기 제1 전극은 서로 이격되게 배치되는 제1a 전극단과 제1b 전극단을 가지며, 상기 제2 전극은 일부가 상기 제1a 전극단과 중첩되는 제2a 전극단과, 일부가 상기 제1b 전극단과 중첩되는 제2b 전극단을 가지고,상기 압전층을 형성하는 단계는,상기 접촉부재에 대응되는 영역에는 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 배치하지 않는, 압전소자 제조방법
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18
제17 항에 있어서,상기 압전층을 형성하는 단계는상기 접촉부재의 사이에 대응하는 제1 영역의 중앙에 상기 제1a 전극단을 배치하고, 상기 제1a 전극단의 양측에서 상기 제1a 전극단과 서로 이격되게 제1b 전극단을 배치하는, 압전소자 제조방법
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19
제15 항에 있어서,상기 베이스층에 인장력을 인가하는 단계는 상기 베이스층에 제1 방향 및 제2 방향으로 인장력을 인가하고,상기 압전층에 굴곡을 형성하는 단계는제1 압전층을 상기 제1 방향으로 배치하고, 제2 압전층을 상기 제1 압전층과 교차되게 상기 제2 방향으로 배치하는 단계; 및인가된 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향으로의 인장력을 제거하여, 상기 제1 압전층 및 상기 제2 압전층에 굴곡을 형성하는 단계;를 구비하는, 압전소자 제조방법
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20
제14 항에 있어서,압전소자의 내부에 유체를 봉입하여, 커버 부재가 상기 압전소자의 적어도 일부를 커버하는 단계;를 더 포함하는, 압전소자 제조방법
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