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전도성을 갖는 플레이트;상기 플레이트의 상면 및 하면에 각각 배치되고, 서로 겹쳐지되, 일단 및 타단이 각각 상기 플레이트의 일측과 타측으로 연장되는 상부 전극 및 하부 전극;상기 상부 전극의 상면에 구비되되, 상기 상부 전극과 상기 하부 전극이 겹쳐지는 영역에 적층되는 측정 영역을 포함하고, 상기 측정 영역의 표면은 상기 상부 전극 표면에 비해서 더 큰 표면 거칠기를 가지며, 상기 상부 전극에 비해서 상기 측정부에 접촉되는 측정 대상을 균일하게 흡착하여 상기 측정 대상의 질량을 보다 정확하게 측정할 수 있고,소정의 주파수로 일정하게 진동하는 것을 특징으로 하는 농도 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 측정 대상은 액체에 용해되어 있는 것을 특징으로 하는 농도 측정 장치
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제 2항에 있어서,상기 측정 영역은 탄소 나노 튜브로 이루어지는 것을 특징으로 하는 농도 측정 장치
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제 2항에 있어서, 상기 측정 영역의 전극이 산화되는 것을 특징으로 하는 농도 측정 장치
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제 2항에 있어서,상기 측정 영역은 다공성 폴리머로 이루어지는 것을 특징으로 하는 농도 측정 장치
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제 2항에 있어서,상기 측정 영역은 다공성 메탈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 농도 측정 장치
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제 3항 내지 제 6항 중 어느 하나에 있어서,상기 측정 영역의 rq(거칠기 윤곽의 근 평균 제곱 편차)는 92
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제 3항의 농도 측정 장치를 제조하는 농도 측정 장치의 제조방법에 있어서,상기 탄소 나노 튜브는 에어스프레이로 분사되며, 분사된 이후 열처리 되는 것을 특징으로 하는 농도 측정 장치의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 농도 측정 장치는 제 1 가열 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 농도 측정 장치
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제 9항에 있어서, 상기 제 1 가열 수단은 상기 플레이트 상에 열선을 포함하는 것을 특징으로 하는 농도 측정 장치
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제 1 항의 특징을 갖는 상기 농도 측정 장치;상기 플레이트의 위로 측정물이 용해된 미세 입자를 분사하는 입자 분사기;상기 입자 분사기에 압력을 가하는 피스톤;상기 상부 전극 및 상기 하부 전극에 전원을 인가하고 상기 농도 측정 장치에 진동을 가하는 전원 인가장치;상기 농도 측정 장치의 진동을 감지하는 진동 감지 장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 농도 측정 시스템
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제 11항에 있어서,상기 측정 대상이 포함되는 액체를 강제로 기화시키는 기화 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 농도 측정 시스템
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제 12항에 있어서,상기 기화 수단은 상기 플레이트에 열을 가하는 제 2 가열 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 농도 측정 시스템
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제 13항에 있어서,상기 제 2 가열 수단은 핫 플레이트인 농도 측정 시스템
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제 13항에 있어서,상기 제 2 가열 수단은 열선인 농도 측정 시스템
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제 12항에 있어서,상기 기화 수단은 상기 입자 분사기와 상기 농도 측정 장치 사이의 공기에 대류를 일으키는 바람 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 농도 측정 시스템
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제 12항에 있어서,상기 기화 수단은 상기 입자 분사기와 상기 농도 측정 장치 사이의 공기의 습도를 제어하는 습도 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 농도 측정 시스템
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제 12항에 있어서,상기 기화 수단은 핫 플레이트, 열선, 상기 입자 분사기와 상기 농도 측정 장치 사이의 공기에 대류를 일으키는 바람 제어 수단, 상기 입자 분사기와 상기 농도 측정 장치 사이의 공기의 습도를 제어하는 습도 제어 수단 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 농도 측정 시스템
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제 11 항의 특징을 갖는 상기 농도 측정 장치와 상기 농도 측정 시스템을 이용한 농도 측정 방법에 있어서, 상기 입자 분사기가 측정 대상이 용해된 미세 입자를 상기 농도 측정 장치에 도포하는 도포단계;상기 전원 인가장치가 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극에 전압을 인가하고 상기 농도 측정 장치를 진동시키는 전압 인가 및 진동 단계;상기 측정 대상이 포함되는 액체를 강제로 기화시키는 기화 수단이 상기 농도 측정 장치 상에 존재하는 측정 대상이 포함되는 액체를 강제로 기화시키는 기화 단계;상기 진동 감지 장치가 상기 농도 측정 장치의 진동을 감지하여 측정 대상의 질량을 측정하는 질량 및 농도 측정 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 농도 측정 방법
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