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적어도 하나 이상의 금속 전구체가 용해된 금속 전구체 용액을 형성하는 금속 전구체 혼합부(110) 및 상기 금속 전구체 용액이 이동하는 금속 전구체 유동경로(120)를 포함하는 금속 전구체 용액부(100);적어도 하나 이상의 칼코겐 전구체가 용해된 칼코겐 전구체 용액을 형성하는 칼코겐 전구체 혼합부(210) 및 상기 칼코겐 전구체 용액이 이동하는 칼코겐 전구체 유동경로(220)를 포함하는 칼코겐 전구체 용액부(200); 및상기 금속 전구체 용액부(100) 및 칼코겐 전구체 용액부(200)에서 각각의 유동경로로부터 이동된 금속 전구체 용액 및 칼코겐 전구체 용액의 혼합물을 형성하고, 상기 혼합물을 유동경로로 이동시키며 가열하여 나노입자를 형성하는 나노입자 생성부(300);를 포함하는 칼코게나이드 화합물 나노입자 제조장치(1000)
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제1항에 있어서,상기 금속 전구체 혼합부(110)는,상기 금속 전구체가 용해된 금속 전구체 용액을 포함하는 금속 전구체 혼합기(111); 및상기 금속 전구체 혼합기(111)를 가열하는 금속 전구체 가열기(112);를 포함하는 칼코게나이드 화합물 나노입자 제조장치(1000)
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제1항에 있어서,상기 금속 전구체 용액부(100)는,상기 금속 전구체 유동경로(120)로 이동하는 금속 전구체 용액의 속도를 제어하는 제1 펌프(130)를 포함하는 칼코게나이드 화합물 나노입자 제조장치(1000)
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제1항에 있어서,상기 금속 전구체 유동경로(120)는 유동경로의 온도를 제어하는 가열부를 포함하는 칼코게나이드 화합물 나노입자 제조장치(1000)
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제1항에 있어서,상기 칼코겐 전구체 혼합부(210)는,상기 칼코겐 전구체가 용해된 칼코겐 전구체 용액을 포함하는 칼코겐 전구체 혼합기(211); 및상기 칼코겐 전구체 혼합기(211)를 가열하는 칼코겐 전구체 가열기(212);를 포함하는 칼코게나이드 화합물 나노입자 제조장치(1000)
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제1항에 있어서,상기 칼코겐 전구체 용액부(200)는,상기 칼코겐 전구체 유동경로(220)로 이동하는 칼코겐 전구체 용액의 속도를 제어하는 제2 펌프(230)를 포함하는 칼코게나이드 화합물 나노입자 제조장치(1000)
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제1항에 있어서,상기 칼코겐 전구체 유동경로(220)는 유동경로의 온도를 제어하는 가열부를 포함하는 칼코게나이드 화합물 나노입자 제조장치(1000)
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제1항에 있어서,상기 나노입자 생성부(300)는,상기 금속 전구체 용액부(100) 및 칼코겐 전구체 용액부(200)에서 각각의 유동경로로부터 금속 전구체 용액 및 칼코겐 전구체 용액이 이동하여 혼합되는 전구체 혼합부(310);상기 전구체 혼합부(310)에서 형성된 혼합물이 이동하며 나노입자가 형성되는 혼합물 유동경로(320); 및형성된 나노입자를 배출하는 배출부(330);를 포함하는 칼코게나이드 화합물 나노입자 제조장치(1000)
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제8항에 있어서,상기 혼합물 유동경로(320)는 코일 형태인 칼코게나이드 화합물 나노입자 제조장치(1000)
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제9항에 있어서,상기 코일 형태인 혼합물 유동경로(320)의 길이는 5 m 내지 50 m인 칼코게나이드 화합물 나노입자 제조장치(1000)
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11
제1항에 있어서,상기 나노입자 생성부(300)의 가열 온도는 100℃ 내지 500℃인 칼코게나이드 화합물 나노입자 제조장치(1000)
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12
제1항의 칼코게나이드 화합물 나노입자 제조장치에 적어도 하나 이상의 금속 전구체가 용해된 금속 전구체 용액 및 적어도 하나 이상의 칼코겐 전구체가 용해된 칼코겐 전구체 용액을 형성하는 단계;형성된 금속 전구체 용액 및 칼코겐 전구체 용액을 독립적인 유동경로를 통해 나노입자 생성부로 공급하는 단계; 및공급된 금속 전구체 용액 및 칼코겐 전구체 용액이 혼합된 후, 혼합물 유동경로를 통과하면서 나노입자를 형성하는 단계;를 포함하는 칼코게나이드 화합물 나노입자의 제조방법
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제12항에 있어서,상기 금속 전구체 용액 및 칼코겐 전구체 용액은 각각 독립적으로 가열하여 형성하는 칼코게나이드 화합물 나노입자의 제조방법
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14
제12항에 있어서,상기 금속 전구체 용액 및 칼코겐 전구체 용액은 각각 독립적인 유동경로 및 각각 유동경로에 형성된 펌프를 이용하여 공급되는 칼코게나이드 화합물 나노입자의 제조방법
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제14항에 있어서,상기 금속 전구체 용액 및 칼코겐 전구체 용액이 공급되는 각각의 독립적인 유동경로는 각각 독립적으로 온도를 제어하는 칼코게나이드 화합물 나노입자의 제조방법
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제12항에 있어서,상기 나노입자를 형성하는 단계에서 가열된 유동경로는 코일형태인 칼코게나이드 화합물 나노입자의 제조방법
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제16항에 있어서,코일형태인 유동경로를 통과하면서 나노입자가 성장하는 칼코게나이드 화합물 나노입자의 제조방법
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제16항에 있어서,상기 나노입자는 코일형태인 유동경로의 길이 및 직경 중 1종 이상의 변수에 따라 나노입자 성장 시간을 결정하는 칼코게나이드 화합물 나노입자의 제조방법
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