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세라믹 발열체에 있어서,피가열체를 내부에 수용할 수 있는 실린더 형상의 MoSi2계 발열체 본체; 및상기 발열체 본체의 표면에 형성되는 SiO2 피막을 포함하는 실린더형 세라믹 발열체
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제1항에 있어서,상기 MoSi2계 발열체 본체는,MoxW1-xSi2 (여기서, 0
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제1항에 있어서,상기 SiO2 피막의 두께는 20 μm 내지 30 μm인 것을 특징으로 하는 실린더형 세라믹 발열체
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MoSi2계 원료를 준비하는 단계;상기 원료, 분산매 및 바인더를 혼합하여 슬립캐스팅용 슬러리를 제조하는 단계;상기 슬러리를 실린더 형상 제작용 석고몰드에 주입하여 슬립캐스팅으로 성형체를 제조하는 단계;상기 성형체를 1차 소결하는 단계; 및상기 성형체를 최종 소결하는 단계를 포함하는 실린더형 세라믹 발열체의 제조 방법
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제4항에 있어서,MoSi2계 원료를 준비하는 단계는,Mo, W 및 Si 분말을 화학량론에 맞게 정량하여 혼합하고 일축가압성형을 통해 펠렛 형태로 제조하는 단계;상기 펠렛을 자전고온연소합성법(Self propagating High Temperature Synthesis, SHS)을 통해 MoSi2계 소재를 합성하는 단계; 및상기 MoSi2계 소재를 분쇄하는 단계를 더 포함하는 실린더형 세라믹 발열체의 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 슬러리를 제조하는 단계에서, 상기 원료:분산매의 중량비는 72:25 내지 80:20으로 혼합되는 것을 특징으로 하는 실린더형 세라믹 발열체의 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 분산매는 H2O이고, 상기 바인더는 Methyl cellulose인 것을 특징으로 하는 실린더형 세라믹 발열체의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 성형체를 제조하는 단계에서는,상기 1차 소결하는 단계 및 최종 소결하는 단계에서의 성형체 수축률을 고려하여 캐스팅 유지 시간을 결정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더형 세라믹 발열체의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 성형체를 제조하는 단계에서,캐스팅 유지 시간은 7
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제4항에 있어서,상기 1차 소결하는 단계에서는, 1450 ℃ 내지 1650 ℃의 온도 및 수소분위기에서 진행되는 것을 특징으로 하는 실린더형 세라믹 발열체의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 최종 소결하는 단계에서는 1500 ℃ 내지 1700 ℃의 온도 및 대기분위기에서 진행되는 것을 특징으로 하는 실린더형 세라믹 발열체의 제조 방법
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