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분말재료를 수용하는 진공챔버;상기 진공챔버 내부의 공기를 흡입하여 진공챔버 내부를 감압시키는 진공발생수단;상기 진공챔버 내부의 분말재료의 하단부와 상단부 간의 압력 차이를 측정하는 차압측정수단; 및,상기 차압측정수단에 의해 측정된 압력 차이 값에 따라 상기 진공발생수단의 작동을 제어하는 제어부;를 포함하는 진공챔버의 진공 환경 조성 장치
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제1항에 있어서, 상기 차압측정수단은, 하단 및 상단 각각에 상기 분말재료의 하단부 및 상단부에 연결되는 하부포트와 상부포트가 형성되어 있는 공압라인과, 상기 공압라인에 연결되어 상기 하부포트 및 상부포트를 통해 전달되는 공기의 압력 차이를 감지하여 제어부로 전송하는 차압센서를 포함하는 진공챔버의 진공 환경 조성 장치
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제1항에 있어서, 상기 차압측정수단은, 상기 분말재료의 하단부의 압력을 감지하여 상기 제어부로 전송하는 하부 압력센서와, 상기 분말재료의 상단부의 압력을 측정하고 측정된 압력의 감지신호를 제어부로 전송하는 상부 압력센서를 포함하는 진공챔버의 진공 환경 조성 장치
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제1항에 있어서, 상기 진공발생수단은, 상기 진공챔버 외부에 설치되어 진공챔버 내부의 공기를 흡입하는 진공펌프와, 상기 진공펌프와 진공챔버를 연결하여 공기를 안내하는 배기호스를 포함하며, 상기 제어부는 차압측정수단에 의해 측정된 압력 차이 값에 따라 상기 진공펌프의 작동 속도를 제어하는 진공챔버의 진공 환경 조성 장치
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제1항에 있어서, 상기 진공발생수단은, 상기 진공챔버 외부에 설치되어 진공챔버 내부의 공기를 흡입하는 진공펌프와, 상기 진공펌프와 진공챔버를 연결하여 공기를 안내하는 배기호스와, 상기 배기호스를 통한 유량을 제어하는 유량제어밸브를 포함하며, 상기 제어부는 차압측정수단에 의해 측정된 압력 차이 값에 따라 상기 유량제어밸브의 개도를 제어하는 진공챔버의 진공 환경 조성 장치
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제1항에 있어서, 상기 분말재료는 상기 진공챔버 내부에 수용되며 상부면이 개방되게 형성된 분말저장용기 내에 수용된 진공챔버의 진공 환경 조성 장치
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 진공 환경 조성 장치를 이용한 진공챔버의 진공 환경 조성 방법으로서, (S1) 분말재료를 진공챔버 내부에 투입하는 단계;(S2) 진공발생수단이 진공챔버 내부의 공기를 흡입하여 진공챔버 내부를 감압시키는 단계;(S3) 차압측정수단으로 분말재료의 하단부와 상단부 간의 압력 차이를 측정하는 단계; 및,(S4) 제어부가 상기 차압측정수단에 의해 측정된 압력 차이 값에 따라 상기 진공발생수단의 작동을 제어하는 단계;를 포함하는 진공챔버의 진공 환경 조성 방법
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제7항에 있어서, 상기 (S4) 단계에서는 제어부가 진공발생수단의 진공펌프의 작동 속도를 제어하는 진공챔버의 진공 환경 조성 방법
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제7항에 있어서, 상기 (S4) 단계에서는 제어부가 진공발생수단의 유량제어밸브의 개도를 제어하는 진공챔버의 진공 환경 조성 방법
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