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(A) 단결정의 관찰면을 에칭하여 에치핏을 형성하는 단계; 및(B) 동공(void) 결함을 제외한 체결함에 의한 사각형의 에치핏을 선별하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 (001) 또는 (010) 단결정 산화갈륨 시료 중 단결정 매트릭스와 결정방향이 다른 결정립에 기인한 체결함 밀도의 정성 평가 방법
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청구항 1에 있어서,상기 결정립 내에는 추가적인 결함이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 (001) 또는 (010) 단결정 산화갈륨 시료 중 단결정 매트릭스와 결정방향이 다른 결정립에 기인한 체결함 밀도의 정성 평가 방법
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,단결정 산화갈륨 시료는 (001) 시료로, 상기 사각형의 에치핏은 직사각형인 막대형상인 것을 특징으로 하는 (001) 또는 (010) 단결정 산화갈륨 시료 중 단결정 매트릭스와 결정방향이 다른 결정립에 기인한 체결함 밀도의 정성 평가 방법
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청구항 3에 있어서,상기 직사각형의 장축방향은 (010) 방향인 것을 특징으로 하는 (001) 또는 (010) 단결정 산화갈륨 시료 중 단결정 매트릭스와 결정방향이 다른 결정립에 기인한 체결함 밀도의 정성 평가 방법
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,단결정 산화갈륨 시료는 (010) 시료로,상기 사각형의 에치핏은 평행사변형 형상인 것을 특징으로 하는 (001) 또는 (010) 단결정 산화갈륨 시료 중 단결정 매트릭스와 결정방향이 다른 결정립에 기인한 체결함 밀도의 정성 평가 방법
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(A) 단결정의 관찰면을 에칭하여 에치핏을 형성하는 단계; (B) 동공(void) 결함을 제외한 체결함에 의한 사각형의 에치핏을 선별하는 단계; 및(C) 상기 체결함에 의한 에치핏의 모양으로부터 하기 수식에 의해 체결함 밀도를 평가하는 단계,체결함 밀도 = Σkaibi / 시료의 면적(이때, 0003c#k≤1이고, ai는 i번째 체결함에 의한 에치핏의 폭, bi는 i번째 체결함에 의한 에치핏의 높이);을 포함하는 것을 특징으로 하는 (001) 또는 (010) 단결정 산화갈륨 시료 중 단결정 매트릭스와 결정방향이 다른 결정립에 기인한 체결함 밀도의 정량 평가 방법
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청구항 6에 있어서,상기 결정립 내에는 추가적인 결함이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 (001) 또는 (010) 단결정 산화갈륨 시료 중 단결정 매트릭스와 결정방향이 다른 결정립에 기인한 체결함 밀도의 정량 평가 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,단결정 산화갈륨 시료가 (001) 시료인 경우, 0003c#k≤1/2인 것을 특징으로 하는 (001) 또는 (010) 단결정 산화갈륨 시료 중 단결정 매트릭스와 결정방향이 다른 결정립에 기인한 체결함 밀도의 정량 평가 방법
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청구항 8에 있어서,상기 (001) 단결정 산화갈륨 시료의 두께가 1
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,단결정 산화갈륨 시료가 (010) 시료인 경우, k=1인 것을 특징으로 하는 (001) 또는 (010) 단결정 산화갈륨 시료 중 단결정 매트릭스와 결정방향이 다른 결정립에 기인한 체결함 밀도의 정량 평가 방법
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