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전사 대상물이 성장한 기판을 배치하고 이동시키는 이송부;상기 기판으로 레이저를 조사하는 제1 광원;레이저가 조사되는 방향으로의 전방에서 상기 기판으로 입사되는 레이저의 패턴을 변화시키는 마스크; 및상기 기판 내 전사 대상물로 레이저가 조사되도록 상기 이송부와 상기 제1 광원을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사 대상물 분리장치
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제1항에 있어서,상기 전사 대상물은,상기 제1 광원으로부터 조사되는 레이저를 조사받으면, 레이저를 조사받은 부분이 식각되어 상기 기판과 분리되는 것을 특징으로 하는 전사 대상물 분리장치
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제1항에 있어서,상기 마스크는,상기 전사 대상물의 각 모서리로 입사하는 레이저는 차단하고, 나머지 부분으로는 레이저를 통과시키는 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 전사 대상물 분리장치
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제2항 또는 제3항에 있어서,상기 전사 대상물은,상기 기판으로부터 각 모서리를 제외한 나머지 부분이 식각되어 분리된 것을 특징으로 하는 전사 대상물 분리장치
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전사 대상물 분리장치가 전사 대상물이 성장한 기판으로부터 전사 대상물을 분리시키기 위한 방법에 있어서,상기 기판으로 레이저를 조사하는 조사과정; 및레이저가 조사되는 좌표로 전사하고자 하는 전사 대상물이 위치하도록 상기 기판의 위치를 조정하는 조정과정을 포함하며,레이저가 조사되는 방향으로의 전방에서 상기 기판으로 입사되는 레이저의 패턴을 변화시키는 마스크가 배치되는 것을 특징으로 하는 전사 대상물 분리방법
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제5항에 있어서,상기 전사 대상물은,상기 제1 광원으로부터 조사되는 레이저를 조사받으면, 레이저를 조사받은 부분이 식각되어 상기 기판과 분리되는 것을 특징으로 하는 전사 대상물 분리방법
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제5항에 있어서,상기 마스크는,상기 전사 대상물의 각 모서리로 입사하는 레이저는 차단하고, 나머지 부분으로는 레이저를 통과시키는 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 전사 대상물 분리방법
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전사 대상물이 성장한 기판을 배치하고 이동시키는 이송부;상기 기판으로 레이저를 조사하는 제1 광원;레이저가 조사되는 방향으로의 전방에서 상기 기판으로 입사되는 레이저의 패턴을 변화시키는 마스크;상기 제1 광원에서 조사된 레이저의 방향을 조정하는 레이저 스캐닝부; 및상기 기판 내 전사 대상물로 레이저가 조사되도록 상기 제1 광원과 상기 레이저 스캐닝부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전사 대상물 분리장치
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전사 대상물이 성장한 기판, 상기 기판이 부착될 필름 및 상기 전사 대상물이 전사될 상대 기판을 배치하고 이동시키는 이송부;상기 기판으로 제1 레이저를 조사하는 제1 광원;상기 제1 레이저가 조사되는 방향으로의 전방에서 상기 기판으로 입사되는 레이저의 패턴을 변화시키는 마스크;상기 필름으로 제2 레이저를 조사하는 제2 광원; 및상기 기판 내 전사 대상물로 제1 레이저가 조사되도록 상기 이송부와 상기 제1 광원을 제어하고, 상기 기판이 상기 필름에 부착되도록 상기 이송부를 제어하며, 상기 필름 내 전사 대상물로 제2 레이저가 조사되도록 상기 이송부와 상기 제2 광원을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 전사장치
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제9항에 있어서,상기 필름은,열이 발생하는 경우, 부피적으로 팽창하는 접착층을 표면에 추가적으로 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 전사장치
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제10항에 있어서,상기 기판은,상기 접착층 상에 부착되는 것을 특징으로 하는 레이저 전사장치
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제11항에 있어서,상기 제어부는,상기 기판이 상기 필름에 부착됨에 있어, 상기 전사 대상물이 상기 상대 기판의 방향을 향하며 부착되도록 상기 이송부를 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저 전사장치
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레이저 전사장치가 전사 대상물이 성장한 기판으로부터 전사 대상물을 상대 기판으로 전사하기 위한 방법에 있어서,상기 기판으로 제1 레이저를 조사하는 제1 조사과정;상기 제1 레이저가 조사되는 좌표로 전사하고자 하는 전사 대상물이 위치하도록 상기 기판의 위치를 조정하는 조정과정;상기 기판을 필름에 부착하는 부착과정;상기 필름으로 제2 레이저를 조사하는 제2 조사과정; 및상기 제2 레이저가 조사되는 좌표로 상기 필름 내 전사 대상물이 위치하도록 상기 필름의 위치를 조정하는 조정과정을 포함하며, 상기 제1 레이저가 조사되는 방향으로의 전방에서 상기 기판으로 입사되는 레이저의 패턴을 변화시키는 마스크가 배치되는 것을 특징으로 하는 레이저 전사방법
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제13항에 있어서,상기 필름은,열이 발생하는 경우, 부피적으로 팽창하는 접착층을 표면에 추가적으로 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 전사방법
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제13항에 있어서,상기 기판은,상기 접착층 상에 부착되는 것을 특징으로 하는 레이저 전사방법
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전사 대상물이 성장한 기판, 상기 기판이 부착될 필름 및 상기 전사 대상물이 전사될 상대 기판을 배치하고 이동시키는 이송부;상기 기판으로 제1 레이저를 조사하는 제1 광원;상기 제1 레이저가 조사되는 방향으로의 전방에서 상기 기판으로 입사되는 레이저의 패턴을 변화시키는 마스크;상기 필름으로 제2 레이저를 조사하는 제2 광원;상기 제1 광원 및 상기 제2 광원에서 각각 조사된 상기 제1 레이저와 상기 제2 레이저의 방향을 조정하는 레이저 스캐닝부; 및상기 기판 내 전사 대상물로 제1 레이저가 조사되도록 상기 제1 광원과 상기 레이저 스캐닝부를 제어하고, 상기 기판이 상기 필름에 부착되도록 상기 이송부를 제어하며, 상기 필름 내 전사 대상물로 제2 레이저가 조사되도록 상기 제2 광원과 상기 레이저 스캐닝부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 전사장치
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