| 1 |
1
기판 상에 코팅액을 구배(句配, Gradient)형으로 코팅하는 기판 코팅장치에 있어서,상기 기판 상에 기 설정된 양의 코팅액을 공급하는 코팅액 공급모듈;상기 기판 상에 도포된 코팅액을 기 설정된 각도로 기울어진 경사면을 갖도록 성형하는 틸트 블레이드 코팅모듈;기판을 흡착하고, 상기 기판 상에 도포된 코팅액을 건조시킴으로써 상기 기판 상에 코팅막을 형성하는 흡착 및 건조모듈;상기 코팅막의 두께를 측정하는 측정모듈;상기 기판을 기 설정된 위치로 이동시키는 스테이지; 및상기 기판 코팅장치 내 각 구성요소를 제어하는 제어모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 기판 코팅장치는,잔여 코팅액을 수거하는 코팅액 수거장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 코팅액 공급모듈은,상기 코팅액을 저장하는 저장탱크를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 측정모듈은,복수 개로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 틸트 블레이드 코팅모듈은,기 설정된 각도로 기울어진 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 흡착 및 건조모듈은,진공압으로 기판을 흡착시키거나 분리시키는 흡착공;상기 진공압을 형성시키는 진공펌프; 및상기 진공압을 상기 흡착공으로 전달하는 진공 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 흡착공은,상기 흡착 및 건조모듈의 상면에 복수 개로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
|
| 8 |
8
제6항에 있어서,상기 진공펌프는,밸브의 개폐에 의해 공기의 세기가 조절되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
|
| 9 |
9
제6항에 있어서,상기 흡착 및 건조모듈은,상기 기판 상에 도포된 상기 코팅액을 건조시키는 히팅 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
|
| 10 |
10
기판 상에 코팅액을 구배(句配, Gradient)형으로 코팅하는 방법에 있어서,상기 기판을 흡착 및 건조모듈의 상부에 밀착시키는 밀착과정;상기 기판을 기 설정된 위치로 이동시키는 이동과정;상기 기판의 상면에 기 설정된 양의 코팅액을 공급하는 공급과정;상기 기판의 상면에 공급된 코팅액을 기 설정된 각도로 기울어진 경사면을 갖도록 성형하는 성형과정;상기 코팅액을 건조시키는 건조과정; 및코팅막의 두께를 기 설정된 위치에서 측정하는 측정과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치의 코팅방법
|
