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대상금속에 전처리를 수행하는 (a)단계;상기 대상금속을 반응챔버에 투입하고, 상기 반응챔버 내의 온도를 기 설정된 온도범위로 승온시키는 (b)단계;상기 반응챔버에 제1반응가스를 주입하여 저온침탄공정을 수행하는 (c)단계; 및상기 저온침탄공정을 중단하고, 상기 반응챔버에 제2반응가스를 주입하여 저온질화공정을 수행하는 (d)단계;를 포함하는 2단계 분리공정을 통한 저온침질방법
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제1항에 있어서,상기 기 설정된 온도범위는 300℃ 내지 500℃인 것으로 하는 2단계 분리공정을 통한 저온침질방법
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제2항에 있어서,상기 기 설정된 온도범위는 420℃ 내지 450℃인 것으로 하는 2단계 분리공정을 통한 저온침질방법
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제1항에 있어서,상기 제1반응가스는 탄화수소가스 및 수소가스의 혼합가스인 것으로 하는 2단계 분리공정을 통한 저온침질방법
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제1항에 있어서,상기 제2반응가스는 암모니아가스 및 수소가스의 혼합가스인 것으로 하는 2단계 분리공정을 통한 저온침질방법
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제1항에 있어서,상기 제2반응가스는 질소가스 및 수소가스의 혼합가스인 것으로 하는 2단계 분리공정을 통한 저온침질방법
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제1항에 있어서,상기 (c)단계 및 상기 (d)단계 사이에는 상기 대상금속을 냉각하고 재가열하는 과정이 수행되는 2단계 분리공정을 통한 저온침질방법
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