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레이저 광원;상기 레이저 광원으로부터 나온 빔을 선형으로 집광시키는 선형 집속 렌즈; 를 포함하되,상기 선형 집속 렌즈는:수평면; 및상기 수평면과 경사각 α를 이루는 경사면; 을 포함하고,상기 α는 상기 선형 집속 렌즈의 굴절률 R과34
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제 1 항에 있어서,상기 레이저 광원에서 나온 빔의 사이즈를 조절하는 빔 사이즈 조절부를 더 포함하며,상기 빔 사이즈 조절부는 상기 레이저 광원과 상기 선형 집속 렌즈 사이에 위치하는 스텔스 다이싱 장치
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제 2 항에 있어서,상기 빔 사이즈 조절부는 전방 렌즈 및 후방 렌즈를 포함하는 스텔스 다이싱 장치
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제 3 항에 있어서,상기 전방 렌즈는 두께가 변하도록 형상이 변하는 두께 가변 렌즈를 포함하는 스텔스 다이싱 장치
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제 3 항에 있어서,상기 후방 렌즈는 상기 전방 렌즈와의 사이 거리가 변하는 위치 가변 렌즈를 포함하는 스텔스 다이싱 장치
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제 2 항에 있어서,상기 선형 집속 렌즈는 상기 빔 사이즈 조절부를 나온 빔이 상기 수평면을 수직으로 투과하도록 배치되는 스텔스 다이싱 장치
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제 6 항에 있어서,상기 경사면은 원뿔의 측면의 형상을 포함하는 스텔스 다이싱 장치
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제 1 항에 있어서,상기 α는 25 ˚ 이상 35 ˚ 이하인 스텔스 다이싱 장치
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제 1 항에 있어서,상기 레이저 광원에서 나오는 빔의 평균 출력은 2W 이상인 스텔스 다이싱 장치
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제 1 항에 있어서,상기 레이저 광원에서 나오는 빔의 펄스 폭은 100ns 이하인 스텔스 다이싱 장치
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레이저 광원;상기 레이저 광원으로부터 나온 빔을 선형으로 집광시키는 선형 집속 렌즈; 를 포함하되,상기 선형 집속 렌즈는 원통형 렌즈 및 상기 원통형 렌즈의 하면에 결합되는 원뿔형 렌즈를 포함하되,상기 원뿔형 렌즈의 측면은 상기 원통형 렌즈의 하면과 경사각 α를 이루며,상기 α는 상기 선형 집속 렌즈의 굴절률 R과34
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제 11 항에 있어서,전방 렌즈 및 후방 렌즈를 포함하는 빔 사이즈 조절부를 더 포함하되,상기 빔 사이즈 조절부는 상기 레이저 광원과 상기 선형 집속 렌즈 사이에 위치하는 스텔스 다이싱 장치
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13
제 12 항에 있어서,상기 전방 렌즈는 두께가 변하도록 형상이 변하는 두께 가변 렌즈를 포함하는 스텔스 다이싱 장치
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14
제 12 항에 있어서,상기 후방 렌즈는 상기 전방 렌즈와의 사이 거리가 변하는 위치 가변 렌즈를 포함하는 스텔스 다이싱 장치
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빔 사이즈 조절부를 제어하여 빔의 사이즈를 조절하는 것;선형 집속 렌즈가 상기 빔을 굴절 시키는 것;상기 굴절된 빔이 웨이퍼 내에서 선형으로 집속되는 것; 및선형으로 집속된 빛이 웨이퍼에 균열을 형성하는 것; 을 포함하되,상기 선형 집속 렌즈는:수평면; 및상기 수평면과 경사각 α를 이루는 경사면; 을 포함하고,상기 α는 상기 선형 집속 렌즈의 굴절률 R과34
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제 15 항에 있어서,상기 α는 25 ˚ 이상 35 ˚ 이하인 스텔스 다이싱 방법
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제 15 항에 있어서,상기 빔 사이즈 조절부는 전방 렌즈 및 후방 렌즈를 포함하는 스텔스 다이싱 방법
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제 17 항에 있어서,상기 후방 렌즈는 상기 전방 렌즈와의 사이 거리가 변하는 위치 가변 렌즈를 포함하는 스텔스 다이싱 방법
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제 17 항에 있어서,상기 전방 렌즈는 두께가 변하도록 형상이 변하는 두께 가변 렌즈를 포함하는 스텔스 다이싱 방법
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제 15 항에 있어서,상기 웨이퍼에 입사되는 빔의 펄스 폭은 100ns 이하인 스텔스 다이싱 방법
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