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제1 극성의 표면 전하를 띠는 고분자 코어 입자를 제조하는 단계;상기 고분자 코어 입자가 분산된 제1 현탁액에 용해 시 상기 제1 극성과 반대되는 제2 극성을 띄고 제1 금속을 함유하는 제1 무기물 전구체를 첨가한 후 반응시켜, 상기 고분자 코어 입자 상에 제1 무기 쉘을 형성하여 제1 복합체 입자를 제조하는 단계;를 포함하는,고분자 코어-무기 쉘 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1 복합체 입자가 분산된 제2 현탁액에 표면전하 조절 첨가제 화합물을 첨가한 후 상기 표면전하 조절 첨가제 화합물과 상기 제1 무기 쉘을 반응시키는 단계; 및상기 제2 현탁액에 용해되어 상기 제2 극성을 띄고 상기 제1 금속과 다른 제2 금속을 함유하는 제2 무기물 전구체를 첨가한 후 반응시켜, 상기 제1 무기 쉘 표면을 피복하고 상기 제2 극성의 표면 전하를 을 갖는 제2 무기 쉘을 형성하여 제2 복합체 입자를 형성하는 단계;를 더 포함하고,상기 표면전하 조절 첨가제 화합물과의 반응에 의해 상기 제1 무기 쉘의 표면 극성은 상기 제2 극성에서 상기 제1 극성으로 변환되는 것을 특징으로 하는, 고분자 코어-무기 쉘 입자의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1 복합체 입자 또는 상기 제2 복합체 입자가 분산된 수용액의 pH를 조절하여 상기 제1 복합체 입자 또는 상기 제2 복합체 입자의 표면 전위를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,고분자 코어-무기 쉘 입자의 제조방법
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제1 또는 2항에 있어서,상기 제1 무기 쉘은 세륨산화물로 형성되고,상기 표면전하 조절 첨가제 화합물은 시트르산이며,상기 제2 무기 쉘은 실리콘산화물로 형성된 것을 특징으로 하는,고분자 코어-무기 쉘 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 고분자 코어 입자를 제조하는 단계는,고분자 모노머를 용매에 용해시켜 혼합용액을 제조하는 단계; 및상기 혼합용액에 개시제를 첨가하고 수분산 중합시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,고분자 코어-무기 쉘 입자의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 고분자 모노머는, 스티렌계 모노머, 메타크릴레이트계 모노머, 아크릴레이트계 모노머, 비닐계 모노머 및 아크릴로니트릴계 모노머로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는,고분자 코어-무기 쉘 입자의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 혼합용액을 제조하는 단계에서 상기 고분자 모노머와 함께 계면활성제 또는 가교제가 첨가되는 것을 특징으로 하는,고분자 코어-무기 쉘 입자의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 계면활성제는 음이온계 계면활성제, 양이온계 계면활성제, 양성 계면활성제 및 비이온성 계면활성제 중에서 선택된 어느 하나를 포함하고,상기 가교제는 디비닐벤젠, 메타크릴산 글리시딜, 무수메타크릴산, 글리시딜 에테르 및 글리 옥살 중에서 선택된 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는, 고분자 코어-무기 쉘 입자의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1 무기물 전구체 및 상기 제2 무기물 전구체 각각은, Ce, Si, Co, Fe, Ni, Mn, Al, Ti, Zr, Ga, Sn, As, Sb 및 V로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상의 금속 원소를 포함하는 화합물인 것을 특징으로 하는,고분자 코어-무기 쉘 입자의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1 무기 쉘은 정전기적 인력에 의해 상기 고분자 코어 입자 표면에 코팅되고,상기 제2 무기 쉘은 정전기적 인력에 의해 상기 제1 무기 쉘 표면에 코팅되는 것을 특징으로 하는, 고분자 코어-무기 쉘 입자의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1 및 제2 무기 쉘을 형성하기 위한 반응은 50℃ 내지 200 ℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는,고분자 코어-무기 쉘 입자의 제조방법
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고분자 코어; 및상기 고분자 코어 표면 상에 코팅된 한 종류 이상의 무기물질로 형성된 무기 쉘;을 포함하고,상기 무기 쉘은 -30 mV 이상 또는 +30 mV 이하의 표면 전위를 갖는 것을 특징으로 하는,고분자 코어-무기 쉘 입자
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제12항에 있어서,상기 고분자 코어는 스티렌계 모노머, 메타크릴레이트계 모노머, 아크릴레이트계 모노머, 비닐계 모노머, 아크릴로니트릴계 모노머로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는,고분자 코어-무기 쉘 입자
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제12항에 있어서,상기 무기물질은 CeO2, SiO2, Al2O3, Co2O3, Fe2O3, LiMn2O4, BaTiO3, BaSrTiO3, TiO2, V2O3, ZnO2, La2O3, HfO2, SrTiO3, MOx (M=Fe, Ni, Zr, Co, Mn및 Al로 이루어진 군에서 선택되고, x는 전기적 중성을 만족하는 수) 중에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는,고분자 코어-무기 쉘 입자
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제12항에 있어서,상기 무기 쉘은 서로 다른 물질로 형성된 복수의 적층된 무기 쉘들을 포함하고,상기 고분자 코어의 직경에 대한 상기 무기 쉘들 각각의 두께의 비는 0
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제12항에 있어서,상기 고분자 코어-무기 쉘 입자의 크기는 30 내지 300 nm 인,고분자 코어-무기 쉘 입자
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용매; 및상기 용매 내에 분산되고, 제12항 내지 제16항 중 선택된 어느 하나의 고분자 코어-무기 쉘 입자를 포함하는 것을 특징으로 하는,연마용 조성물
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