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실리카 겔 분말을 마련하는 단계; 상기 실리카 겔 분말을 용매에 혼합하고 교반하여 실리카 겔 전구체 용액을 형성하는 단계; 및 상기 실리카 겔 전구체 용액을 초음파 코팅기의 시린지에 채워 넣은 후, 초음파 스프레이 방식으로 AOA 기판 상에 코팅하여 수분 흡착층을 형성하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 실리카 겔 전구체 용액은 실리카 겔 분말 5 ~ 20 중량% 및 용매 80 ~ 95 중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 필터 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 실리카 겔 분말은 서로 다른 평균 직경을 갖는 적어도 둘 이상을 이용하는 것을 특징으로 하는 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 실리카 겔 분말은 30㎛ 이하의 평균 직경을 갖는 제1 실리카 겔 분말과, 50㎛ 이상의 평균 직경을 갖는 제2 실리카 겔 분말이 혼합된 것을 이용하는 것을 특징으로 하는 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 제1 실리카 겔 분말 및 제2 실리카 겔 분말은 2 : 8 ~ 8 : 2의 중량비로 첨가하는 것을 특징으로 하는 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 용매는 에탄올(ethanol), 아세톤(acetone), DMF(dimethylformamide), 옥탄올(octanol), 테트라데칸(tetradecane), 펜탄올(pentanol), 디프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르(dipropylene glycol monomethyl ether) 및 에틸렌 글리콜(ethylene glycol) 중 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 초음파 스프레이 코팅은 70 ~ 90Hz의 주파수 범위로 실시하는 것을 특징으로 하는 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 실리카 겔 전구체 용액은 0
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제1항에 있어서,상기 초음파 스프레이 코팅은 70 ~ 90℃에서 10 ~ 240sec 동안 실시하는 것을 특징으로 하는 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 초음파 스프레이 코팅은 상기 초음파 코팅기의 스프레이 노즐과 AAO 기판 간을 5 ~ 10cm의 이격거리로 유지시킨 상태에서 수행하는 것을 특징으로 하는 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터 제조 방법
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제1항에 따른 방법으로 제조된 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터로서, AAO 기판; 및 상기 AAO 기판 상에 초음파 스프레이 방식으로 코팅되어 형성된 수분 흡착층;을 포함하며, 상기 수분 흡착층은 실리카 겔 분말 5 ~ 20 중량% 및 용매 80 ~ 95 중량%를 포함하는 필터 전구체 용액을 초음파 스프레이 방식으로 코팅하고, 경화시켜 형성된 것을 특징으로 하는 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터
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제11항에 있어서,상기 실리카 겔 분말은 30㎛ 이하의 평균 직경을 갖는 제1 실리카 겔 분말과, 50㎛ 이상의 평균 직경을 갖는 제2 실리카 겔 분말이 혼합된 것을 이용하는 것을 특징으로 하는 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터
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제12항에 있어서,상기 제1 실리카 겔 분말 및 제2 실리카 겔 분말은 2 : 8 ~ 8 : 2의 중량비로 첨가하는 것을 특징으로 하는 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터
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제11항에 있어서,상기 수분 흡착층은 50㎛ 이하의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터
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제11항에 있어서,상기 수분 흡착 필터는 680 ~ 730㎡/g의 비표면적을 갖는 것을 특징으로 하는 초음파 스프레이법을 이용한 AAO 기판 기반의 가스센서용 수분 흡착 필터
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