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상부가 위치하는 제1 레이어와 하부가 위치하는 제2 레이어 사이에 적어도 하나 이상의 경사면이 형성된 제1 플레이트;상기 제1 레이어를 따라 형성되는 상부와, 상기 제1 플레이트의 상부, 상기 적어도 하나 이상의 경사면 및 상기 제2 레이어를 따라 연장되어 형성되는 하부를 포함하는 제2 플레이트; 및상기 제1 플레이트의 상부, 상기 적어도 하나 이상의 경사면 및 상기 제2 플레이트의 하부를 따라 형성되는 적어도 하나 이상의 전극을 포함하고,상기 적어도 하나 이상의 전극은,상기 제1 플레이트의 상부를 따라 형성되는 부분 및 상기 제2 플레이트의 하부를 따라 형성되는 부분이 노출되는 인터포저
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제1항에 있어서,상기 제1 플레이트는,연속하는 경사면이 각각 다른 경사 방향을 가지는 복수의 경사면들이 상기 제1 레이어와 상기 제2 레이어 사이에 형성된인터포저
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3
제1항에 있어서,상기 제1 플레이트는,상기 제1 플레이트의 상부에서 경사가 시작되는 지점이 각각 다른 복수의 경사면들이 상기 제1 레이어와 상기 제2 레이어 사이에 병렬적으로 형성된인터포저
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4
제1항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 전극은,상기 제1 플레이트의 상부를 따라 형성되는 부분과 상기 적어도 제2 플레이트의 하부를 따라 형성되는 부분의 길이가 각각 다른인터포저
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5
제1항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 전극은,상기 제1 플레이트의 상부, 상기 적어도 하나 이상의 경사면 및 상기 제2 플레이트의 하부를 따라 직선, 사선 또는 곡선 형태의 패턴으로 형성되는인터포저
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| 6 |
6
제1 플레이트의 상부에 제1 레이어에서 제2 레이어까지의 단차를 가지는 적어도 하나 이상의 경사면을 형성하는 단계;상기 제1 레이어에 위치하는 상기 제1 플레이트의 제1 영역, 상기 적어도 하나 이상의 경사면 및 상기 제2 레이어에 위치하는 상기 제1 플레이트의 제2 영역에 연속하여 밀착되도록 적어도 하나 이상의 전극을 형성하는 단계;상기 제1 플레이트의 상부 및 상기 적어도 하나 이상의 전극이 포함되도록 제2 플레이트를 형성하는 단계;상기 제2 플레이트의 상부를 상기 제1 레이어까지 연마하는 단계; 및상기 제1 플레이트의 하부를 상기 제2 레이어까지 연마하는 단계를 포함하는 인터포저 제조 방법
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7
제6항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 경사면을 형성하는 단계는,상기 제1 플레이트의 상부에 상기 제1 레이어에서 상기 제2 레이어까지의 단차를 가지고, 연속하는 경사면이 각각 다른 경사 방향을 가지는 복수의 경사면들을 형성하는 단계를 포함하는 인터포저 제조 방법
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8
제6항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 경사면을 형성하는 단계는,상기 제1 플레이트의 상부에 상기 제1 레이어에서 상기 제2 레이어까지의 단차를 가지고, 상기 제1 플레이트의 상부에서 경사가 시작되는 지점이 각각 다른 복수의 경사면들을 병렬적으로 형성하는 단계를 포함하는 인터포저 제조 방법
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9
제6항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 전극을 형성하는 단계는,상기 제1 영역에 형성되는 부분과 상기 제2 영역에 형성되는 부분의 길이를 각각 다르게하여 상기 적어도 하나 이상의 전극을 형성하는 단계를 포함하는 인터포저 제조 방법
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10
제9항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 전극을 형성하는 단계는,상기 제1 영역, 상기 적어도 하나 이상의 경사면 및 상기 제2 영역에 연속하여 직선, 사선, 또는 곡선 형태의 패턴으로 상기 적어도 하나 이상의 전극을 형성하는 단계를 포함하는 인터포저 제조 방법
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